材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
15期
125-131
,共7页
蒋雪梅%俎喜红%张政%黄海亮%易国斌
蔣雪梅%俎喜紅%張政%黃海亮%易國斌
장설매%조희홍%장정%황해량%역국빈
ZnO纳米线%图案化技术%阵列
ZnO納米線%圖案化技術%陣列
ZnO납미선%도안화기술%진렬
ZnO nanowire%patterning technology%array
综述了多种图案化制备ZnO纳米线阵列的技术,包括电子束光刻技术、纳米球蚀刻技术、激光干涉光刻技术、纳米压印技术和嵌段共聚物蚀刻技术等.介绍了图案化ZnO纳米线阵列在传感器、太阳能电池和UV检测器等功能器件中的应用进展,分析了图案化ZnO纳米线阵列制备与应用中的优点、意义及存在的问题,并展望了其未来发展趋势.
綜述瞭多種圖案化製備ZnO納米線陣列的技術,包括電子束光刻技術、納米毬蝕刻技術、激光榦涉光刻技術、納米壓印技術和嵌段共聚物蝕刻技術等.介紹瞭圖案化ZnO納米線陣列在傳感器、太暘能電池和UV檢測器等功能器件中的應用進展,分析瞭圖案化ZnO納米線陣列製備與應用中的優點、意義及存在的問題,併展望瞭其未來髮展趨勢.
종술료다충도안화제비ZnO납미선진렬적기술,포괄전자속광각기술、납미구식각기술、격광간섭광각기술、납미압인기술화감단공취물식각기술등.개소료도안화ZnO납미선진렬재전감기、태양능전지화UV검측기등공능기건중적응용진전,분석료도안화ZnO납미선진렬제비여응용중적우점、의의급존재적문제,병전망료기미래발전추세.
