材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
16期
52-54,73
,共4页
张丽丽%周炳卿%张林睿%李海泉
張麗麗%週炳卿%張林睿%李海泉
장려려%주병경%장림예%리해천
ZnO薄膜%溶胶-凝胶法%物相结构%表面形貌%透射率
ZnO薄膜%溶膠-凝膠法%物相結構%錶麵形貌%透射率
ZnO박막%용효-응효법%물상결구%표면형모%투사솔
ZnO thin film%sol-gel method%phase structure%morphology%transmittance
以(CH3COO)2Zn·2H2O为前驱物,利用溶胶-凝胶旋转涂膜法以普通玻璃为基底制备ZnO薄膜.分别采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和扫描电子显微镜等对ZnO薄膜的物相组分、透射率和表面形貌进行测量与表征.研究了热处理温度对ZnO薄膜的物相结构和光学特性的影响.实验结果表明,ZnO薄膜的物相结构和可见光透射率都与热处理温度有关,随着热处理温度升高,ZnO薄膜的晶粒尺寸增大,晶格常数逐渐减小,薄膜的透射率增大.
以(CH3COO)2Zn·2H2O為前驅物,利用溶膠-凝膠鏇轉塗膜法以普通玻璃為基底製備ZnO薄膜.分彆採用X射線衍射儀、紫外-可見分光光度計和掃描電子顯微鏡等對ZnO薄膜的物相組分、透射率和錶麵形貌進行測量與錶徵.研究瞭熱處理溫度對ZnO薄膜的物相結構和光學特性的影響.實驗結果錶明,ZnO薄膜的物相結構和可見光透射率都與熱處理溫度有關,隨著熱處理溫度升高,ZnO薄膜的晶粒呎吋增大,晶格常數逐漸減小,薄膜的透射率增大.
이(CH3COO)2Zn·2H2O위전구물,이용용효-응효선전도막법이보통파리위기저제비ZnO박막.분별채용X사선연사의、자외-가견분광광도계화소묘전자현미경등대ZnO박막적물상조분、투사솔화표면형모진행측량여표정.연구료열처리온도대ZnO박막적물상결구화광학특성적영향.실험결과표명,ZnO박막적물상결구화가견광투사솔도여열처리온도유관,수착열처리온도승고,ZnO박막적정립척촌증대,정격상수축점감소,박막적투사솔증대.
