CAJ | 학술논문

针对管式PECVD色差数量多，组件外观差等问题，从硅片薄厚、PECVD工艺技术和设备三个方面对问题进行了分析和探讨。通过对色差硅片进行厚度的测量、氮化硅膜沉积工艺参数的调整以及对石墨舟的清洗、更换新的卡点等措施，跟踪并统计了相应的出现色差硅片的数量以及均匀性等的测量。结果显示，同一硅片内随着硅片厚度的差异越大、色差越严重，且最红的区域出现在硅片厚度最薄的位置；另外管式PECVD生产用石墨舟卡点的磨损，以及卡点和舟片匹配不好等是引起管式PECVD色差大的一个主要原因。
침대관식PECVD색차수량다，조건외관차등문제，종규편박후、PECVD공예기술화설비삼개방면대문제진행료분석화탐토。통과대색차규편진행후도적측량、담화규막침적공예삼수적조정이급대석묵주적청세、경환신적잡점등조시，근종병통계료상응적출현색차규편적수량이급균균성등적측량。결과현시，동일규편내수착규편후도적차이월대、색차월엄중，차최홍적구역출현재규편후도최박적위치；령외관식PECVD생산용석묵주잡점적마손，이급잡점화주편필배불호등시인기관식PECVD색차대적일개주요원인。