城市建设理论研究（电子版）
城市建設理論研究（電子版）
성시건설이론연구（전자판）
ChengShi Jianshe LiLun Yan Jiu
2013年
22期
,共1页
超纯水%制造工艺%施工
超純水%製造工藝%施工
초순수%제조공예%시공
超纯水主要用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。本文主要对超纯水系统工艺及其施工进行了探讨。
超純水主要用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的製備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的製作也都要使用超純水。本文主要對超純水繫統工藝及其施工進行瞭探討。
초순수주요용우집성전로공업중용우반도체원재료화소용기명적청세、광각엄모판적제비화규편양화용적수기원등。차외，기타고태전자기건、후막화박막전로、인쇄전로、진공관등적제작야도요사용초순수。본문주요대초순수계통공예급기시공진행료탐토。
