中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
15期
2000-2004
,共5页
刘俊龙%阎秋生%路家斌%潘继生
劉俊龍%閻鞦生%路傢斌%潘繼生
류준룡%염추생%로가빈%반계생
SrTiO3陶瓷%集群磁流变效应%研磨%划痕
SrTiO3陶瓷%集群磁流變效應%研磨%劃痕
SrTiO3도자%집군자류변효응%연마%화흔
SrTiO3 ceramics%cluster magnetorheological (MR) effect%lapping%scratch
采用集群磁流变效应研磨加工工艺进行SrTiO3陶瓷基片研磨加工,分析了研磨盘材料、磨粒种类、研磨压力和磨粒团聚等因素对SrTiO3陶瓷基片表面粗糙度和表面完整性的影响.结果表明:磁流变效应研磨工作液中的SiC、Al2O3和CeO2等磨料的大尺寸磨粒在SrTiO3陶瓷基片研磨加工表面产生的局部大尺寸划痕破坏了加工表面的完整性;采用铸铁研磨盘和SiO2磨料的磁流变研磨工作液研磨加工后,原始表面粗糙度Ra从约1.7854μm下降到0.6282μm,并且表面完整,SrTiO3材料与SiO2磨料之间存在的化学机械研磨过程促进了研磨加工表面性能的改善;研磨压力也是影响研磨加工表面粗糙度和大尺寸划痕的主要因素之一,研磨压力取较小值(1.875kPa)为宜.
採用集群磁流變效應研磨加工工藝進行SrTiO3陶瓷基片研磨加工,分析瞭研磨盤材料、磨粒種類、研磨壓力和磨粒糰聚等因素對SrTiO3陶瓷基片錶麵粗糙度和錶麵完整性的影響.結果錶明:磁流變效應研磨工作液中的SiC、Al2O3和CeO2等磨料的大呎吋磨粒在SrTiO3陶瓷基片研磨加工錶麵產生的跼部大呎吋劃痕破壞瞭加工錶麵的完整性;採用鑄鐵研磨盤和SiO2磨料的磁流變研磨工作液研磨加工後,原始錶麵粗糙度Ra從約1.7854μm下降到0.6282μm,併且錶麵完整,SrTiO3材料與SiO2磨料之間存在的化學機械研磨過程促進瞭研磨加工錶麵性能的改善;研磨壓力也是影響研磨加工錶麵粗糙度和大呎吋劃痕的主要因素之一,研磨壓力取較小值(1.875kPa)為宜.
채용집군자류변효응연마가공공예진행SrTiO3도자기편연마가공,분석료연마반재료、마립충류、연마압력화마립단취등인소대SrTiO3도자기편표면조조도화표면완정성적영향.결과표명:자류변효응연마공작액중적SiC、Al2O3화CeO2등마료적대척촌마립재SrTiO3도자기편연마가공표면산생적국부대척촌화흔파배료가공표면적완정성;채용주철연마반화SiO2마료적자류변연마공작액연마가공후,원시표면조조도Ra종약1.7854μm하강도0.6282μm,병차표면완정,SrTiO3재료여SiO2마료지간존재적화학궤계연마과정촉진료연마가공표면성능적개선;연마압력야시영향연마가공표면조조도화대척촌화흔적주요인소지일,연마압력취교소치(1.875kPa)위의.
