中国新技术新产品
中國新技術新產品
중국신기술신산품
CHINA NEW TECHNOLOGIES AND PRODUCTS
2013年
12期
55-56
,共2页
金刚石(薄膜)%MPCVD%气体压强%Raman光谱
金剛石(薄膜)%MPCVD%氣體壓彊%Raman光譜
금강석(박막)%MPCVD%기체압강%Raman광보
以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜.研究了不同压强对金刚石薄膜质量的影响.结果表明当气氛压强为9KPa时可获得高质量的金刚石薄膜.
以甲烷、氫氣做為氣源,利用微波等離子氣相沉積的方法在硅片上沉積金剛石薄膜.研究瞭不同壓彊對金剛石薄膜質量的影響.結果錶明噹氣氛壓彊為9KPa時可穫得高質量的金剛石薄膜.
이갑완、경기주위기원,이용미파등리자기상침적적방법재규편상침적금강석박막.연구료불동압강대금강석박막질량적영향.결과표명당기분압강위9KPa시가획득고질량적금강석박막.
