新能源进展
新能源進展
신능원진전
Advances in New and Renewable Enengy
2013年
2期
353-358
,共6页
叶翼%朱椒娇%张波%史峥%严晓浪
葉翼%硃椒嬌%張波%史崢%嚴曉浪
협익%주초교%장파%사쟁%엄효랑
化学机械研磨%划痕%线性缺陷模型%关键面积%成品率
化學機械研磨%劃痕%線性缺陷模型%關鍵麵積%成品率
화학궤계연마%화흔%선성결함모형%관건면적%성품솔
CMP%scratch%linear defect model%critical area%yield
关键面积计算对于集成电路成品率的准确预测有着重要的意义.为了得到精确的结果,关键面积计算需要根据缺陷形状的不同选择适当的缺陷模型.针对化学机械研磨引入的划痕,提出了一种线性缺陷模型来计算其关键面积.在此基础上进一步考虑了线端效应的影响,对考虑划痕的关键面积计算模型提出了改进.实验结果表明改进后模型的计算结果更为准确.
關鍵麵積計算對于集成電路成品率的準確預測有著重要的意義.為瞭得到精確的結果,關鍵麵積計算需要根據缺陷形狀的不同選擇適噹的缺陷模型.針對化學機械研磨引入的劃痕,提齣瞭一種線性缺陷模型來計算其關鍵麵積.在此基礎上進一步攷慮瞭線耑效應的影響,對攷慮劃痕的關鍵麵積計算模型提齣瞭改進.實驗結果錶明改進後模型的計算結果更為準確.
관건면적계산대우집성전로성품솔적준학예측유착중요적의의.위료득도정학적결과,관건면적계산수요근거결함형상적불동선택괄당적결함모형.침대화학궤계연마인입적화흔,제출료일충선성결함모형래계산기관건면적.재차기출상진일보고필료선단효응적영향,대고필화흔적관건면적계산모형제출료개진.실험결과표명개진후모형적계산결과경위준학.
