新能源进展
新能源進展
신능원진전
Advances in New and Renewable Enengy
2013年
2期
331-336
,共6页
潘伟伟%张波%郑勇军%史峥%严晓浪
潘偉偉%張波%鄭勇軍%史崢%嚴曉浪
반위위%장파%정용군%사쟁%엄효랑
测试芯片%可寻址%失效分析%缺陷定位
測試芯片%可尋阯%失效分析%缺陷定位
측시심편%가심지%실효분석%결함정위
test chip%addressable%failure analysis%defect localization
集成电路制造技术的不断进步,给缺陷定位带来巨大的挑战.传统的测试芯片和现有的可寻址的方法都无法满足当前缺陷快速准确定位的要求.本文提出了一种改进的可寻址测试芯片的设计方法:每个测试结构采用四端法连接以及单一的NMOS晶体管作为开关电路,以保证电性测量结果精确、电路设计的简洁以及面积利用率的进一步优化;并利用开关电路增加少量测试引脚,以方便物理缺陷定位的进行.该方法在l1 0hm的CMOS工艺中得到应用.经过实际生产验证,实现了金属层断路等缺陷的定位,有效发现了该工艺中失效缺陷的成因,从而帮助实际的成品率实现快速提升.
集成電路製造技術的不斷進步,給缺陷定位帶來巨大的挑戰.傳統的測試芯片和現有的可尋阯的方法都無法滿足噹前缺陷快速準確定位的要求.本文提齣瞭一種改進的可尋阯測試芯片的設計方法:每箇測試結構採用四耑法連接以及單一的NMOS晶體管作為開關電路,以保證電性測量結果精確、電路設計的簡潔以及麵積利用率的進一步優化;併利用開關電路增加少量測試引腳,以方便物理缺陷定位的進行.該方法在l1 0hm的CMOS工藝中得到應用.經過實際生產驗證,實現瞭金屬層斷路等缺陷的定位,有效髮現瞭該工藝中失效缺陷的成因,從而幫助實際的成品率實現快速提升.
집성전로제조기술적불단진보,급결함정위대래거대적도전.전통적측시심편화현유적가심지적방법도무법만족당전결함쾌속준학정위적요구.본문제출료일충개진적가심지측시심편적설계방법:매개측시결구채용사단법련접이급단일적NMOS정체관작위개관전로,이보증전성측량결과정학、전로설계적간길이급면적이용솔적진일보우화;병이용개관전로증가소량측시인각,이방편물리결함정위적진행.해방법재l1 0hm적CMOS공예중득도응용.경과실제생산험증,실현료금속층단로등결함적정위,유효발현료해공예중실효결함적성인,종이방조실제적성품솔실현쾌속제승.
