建材世界
建材世界
건재세계
THE WORLD OF BUILDING MATERIALS
2013年
4期
132-136
,共5页
磁控溅射%阴极%分流片%马鞍形磁场
磁控濺射%陰極%分流片%馬鞍形磁場
자공천사%음겁%분류편%마안형자장
分流片对磁控溅射阴极的磁场分布有较为重要的影响,对提高阴极的溅射速率、利用率及膜层的均匀性有着重要的意义.该文分析了分流片的大小、形状、位置对磁场形成的影响,总结了分流片在设计中应注意的问题.
分流片對磁控濺射陰極的磁場分佈有較為重要的影響,對提高陰極的濺射速率、利用率及膜層的均勻性有著重要的意義.該文分析瞭分流片的大小、形狀、位置對磁場形成的影響,總結瞭分流片在設計中應註意的問題.
분류편대자공천사음겁적자장분포유교위중요적영향,대제고음겁적천사속솔、이용솔급막층적균균성유착중요적의의.해문분석료분류편적대소、형상、위치대자장형성적영향,총결료분류편재설계중응주의적문제.
