CAJ | 학술논문

随着纳米技术的广泛应用以及人们对纳米位移测量认识的不断深化,光栅位移测量技术正在受到广泛的关注.在研究反射式光栅位移测量原理的基础上,设计并实现了一种小型化纳米级单光栅位移测量系统,对系统总体设计、光路布局以及软件算法进行了阐述,最后,利用电容位移传感器ASP-10-ILA等辅助仪器进行了对比实验.实验结果表明:在两路信号不完全正交的情况下系统也能实现准确测量,且理论上系统的位移测量分辨率达到1nm；在电容位移传感器的量程范围内进行小位移对比试验,系统测量均值与参考值最大偏差118nm,且与拟合直线偏差均小于100nm；当光栅发生10mm以上的较大位移时,测量结果与均值的偏差均小于5ppm.
수착납미기술적엄범응용이급인문대납미위이측량인식적불단심화,광책위이측량기술정재수도엄범적관주.재연구반사식광책위이측량원리적기출상,설계병실현료일충소형화납미급단광책위이측량계통,대계통총체설계、광로포국이급연건산법진행료천술,최후,이용전용위이전감기ASP-10-ILA등보조의기진행료대비실험.실험결과표명:재량로신호불완전정교적정황하계통야능실현준학측량,차이론상계통적위이측량분변솔체도1nm；재전용위이전감기적량정범위내진행소위이대비시험,계통측량균치여삼고치최대편차118nm,차여의합직선편차균소우100nm；당광책발생10mm이상적교대위이시,측량결과여균치적편차균소우5ppm.