光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2013年
6期
37-42
,共6页
周灿林%司书春%高成勇%徐建强%雷振坤
週燦林%司書春%高成勇%徐建彊%雷振坤
주찬림%사서춘%고성용%서건강%뢰진곤
相移法%相位测量轮廓术%变形光栅图%相位去包裹%格莱姆-施密特正交化法
相移法%相位測量輪廓術%變形光柵圖%相位去包裹%格萊姆-施密特正交化法
상이법%상위측량륜곽술%변형광책도%상위거포과%격래모-시밀특정교화법
phase-shifting algorithm%phase measuring profilometry (PMP)%deformed fringe pattern%phase unwrapping%Gram-Schmidt(GS)orthonormalization
将格莱姆-施密特正交化法引入投影栅形貌测量,提出了一种新的两步相移轮廓术.首先将2幅随机相移正弦条纹通过DLP投影仪投射到待测物体上,由CCD相机采集受物体形貌调制的变形光栅条纹图,再选择合适大小窗口经像素逐点均值法消除变形栅线图中的背景成分,然后对消背景栅线图进行格莱姆-施密特正交化,得到2幅消背景相移栅线图对应的正交基,由正交基解调出相位数据.最后对面膜样品进行了实际测量,并与其它方法进行了比较分析,实验结果证明了该方法的有效性.
將格萊姆-施密特正交化法引入投影柵形貌測量,提齣瞭一種新的兩步相移輪廓術.首先將2幅隨機相移正絃條紋通過DLP投影儀投射到待測物體上,由CCD相機採集受物體形貌調製的變形光柵條紋圖,再選擇閤適大小窗口經像素逐點均值法消除變形柵線圖中的揹景成分,然後對消揹景柵線圖進行格萊姆-施密特正交化,得到2幅消揹景相移柵線圖對應的正交基,由正交基解調齣相位數據.最後對麵膜樣品進行瞭實際測量,併與其它方法進行瞭比較分析,實驗結果證明瞭該方法的有效性.
장격래모-시밀특정교화법인입투영책형모측량,제출료일충신적량보상이륜곽술.수선장2폭수궤상이정현조문통과DLP투영의투사도대측물체상,유CCD상궤채집수물체형모조제적변형광책조문도,재선택합괄대소창구경상소축점균치법소제변형책선도중적배경성분,연후대소배경책선도진행격래모-시밀특정교화,득도2폭소배경상이책선도대응적정교기,유정교기해조출상위수거.최후대면막양품진행료실제측량,병여기타방법진행료비교분석,실험결과증명료해방법적유효성.
