稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
8期
1711-1714
,共4页
董艳春%阎殿然%张建新%杨勇%何继宁%陈学广
董豔春%閻殿然%張建新%楊勇%何繼寧%陳學廣
동염춘%염전연%장건신%양용%하계저%진학엄
热处理%TiN%纳米涂层%显微组织
熱處理%TiN%納米塗層%顯微組織
열처리%TiN%납미도층%현미조직
heat treatment%TiN%nano-coating%microstructure
为了提高反应等离子喷涂纳米TiN涂层的致密性、消除涂层内的微观缺陷,在大气、氩气氛和真空中对其进行了热处理.用XRD、SEM、TEM分析了纳米TiN涂层热处理后相组成及组织结构的变化,测试了处理后涂层的结合强度和孔隙率.结果表明:纳米TiN涂层在大气和氩气氛中,于600℃开始发生分解和氧化；真空环境下加热,涂层相组成不发生变化.在大气中600℃加热处理后,TiN涂层中微裂纹愈合,孔隙率降到原来的70％,结合强度基本不变.大气中1000℃热处理后,晶粒尺寸仍为100～200 nm.
為瞭提高反應等離子噴塗納米TiN塗層的緻密性、消除塗層內的微觀缺陷,在大氣、氬氣氛和真空中對其進行瞭熱處理.用XRD、SEM、TEM分析瞭納米TiN塗層熱處理後相組成及組織結構的變化,測試瞭處理後塗層的結閤彊度和孔隙率.結果錶明:納米TiN塗層在大氣和氬氣氛中,于600℃開始髮生分解和氧化；真空環境下加熱,塗層相組成不髮生變化.在大氣中600℃加熱處理後,TiN塗層中微裂紋愈閤,孔隙率降到原來的70％,結閤彊度基本不變.大氣中1000℃熱處理後,晶粒呎吋仍為100～200 nm.
위료제고반응등리자분도납미TiN도층적치밀성、소제도층내적미관결함,재대기、아기분화진공중대기진행료열처리.용XRD、SEM、TEM분석료납미TiN도층열처리후상조성급조직결구적변화,측시료처리후도층적결합강도화공극솔.결과표명:납미TiN도층재대기화아기분중,우600℃개시발생분해화양화；진공배경하가열,도층상조성불발생변화.재대기중600℃가열처리후,TiN도층중미렬문유합,공극솔강도원래적70％,결합강도기본불변.대기중1000℃열처리후,정립척촌잉위100～200 nm.
