稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
8期
1669-1673
,共5页
储向峰%汤丽娟%董永平%乔红斌%朱小华
儲嚮峰%湯麗娟%董永平%喬紅斌%硃小華
저향봉%탕려연%동영평%교홍빈%주소화
化学机械抛光%锇%磷酸%极化曲线%阻挡层材料
化學機械拋光%鋨%燐痠%極化麯線%阻擋層材料
화학궤계포광%철%린산%겁화곡선%조당층재료
chemical mechanical polishing%osmium%phosphoric acid%polarization curve%barrier layer material
(锇有可能作为大规模集成电路铜互连扩散阻挡层新材料.)利用自制的抛光液对金属锇片进行抛光,研究在双氧水-磷酸体系抛光液中H2O2浓度和抛光液pH值对抛光速率的影响.结果表明,当抛光液中主要成分仅为氧化剂H2O2时,并不能在金属锇表面达到好的腐蚀效果.在磷酸体系抛光液中,H2O2能够通过促进阴极反应的进行从而增强抛光液对金属锇的化学作用；低浓度H2O2通过增强抛光液对金属锇的化学腐蚀能力,从而增加了抛光速率值:较高浓度H2O2的加入对抛光速率值影响较小.H3PO4能够在抛光液中起到抑制剂、pH调节剂和络合剂的作用.当抛光液pH值为4.0时,金属锇表面生成的钝化膜最致密.当pH值为4.0或5.0时,金属锇表面生成的钝化膜OCP值大于金属锇的OCP值,且此条件下的抛光速率值较高.
(鋨有可能作為大規模集成電路銅互連擴散阻擋層新材料.)利用自製的拋光液對金屬鋨片進行拋光,研究在雙氧水-燐痠體繫拋光液中H2O2濃度和拋光液pH值對拋光速率的影響.結果錶明,噹拋光液中主要成分僅為氧化劑H2O2時,併不能在金屬鋨錶麵達到好的腐蝕效果.在燐痠體繫拋光液中,H2O2能夠通過促進陰極反應的進行從而增彊拋光液對金屬鋨的化學作用；低濃度H2O2通過增彊拋光液對金屬鋨的化學腐蝕能力,從而增加瞭拋光速率值:較高濃度H2O2的加入對拋光速率值影響較小.H3PO4能夠在拋光液中起到抑製劑、pH調節劑和絡閤劑的作用.噹拋光液pH值為4.0時,金屬鋨錶麵生成的鈍化膜最緻密.噹pH值為4.0或5.0時,金屬鋨錶麵生成的鈍化膜OCP值大于金屬鋨的OCP值,且此條件下的拋光速率值較高.
(철유가능작위대규모집성전로동호련확산조당층신재료.)이용자제적포광액대금속철편진행포광,연구재쌍양수-린산체계포광액중H2O2농도화포광액pH치대포광속솔적영향.결과표명,당포광액중주요성분부위양화제H2O2시,병불능재금속철표면체도호적부식효과.재린산체계포광액중,H2O2능구통과촉진음겁반응적진행종이증강포광액대금속철적화학작용；저농도H2O2통과증강포광액대금속철적화학부식능력,종이증가료포광속솔치:교고농도H2O2적가입대포광속솔치영향교소.H3PO4능구재포광액중기도억제제、pH조절제화락합제적작용.당포광액pH치위4.0시,금속철표면생성적둔화막최치밀.당pH치위4.0혹5.0시,금속철표면생성적둔화막OCP치대우금속철적OCP치,차차조건하적포광속솔치교고.
