CAJ | 학술논문

利用FIB/SEM切片、XRD、TEM和EDX、EELS等先进分析技术对微球模板法所制备的Au/Ag泡沫材料的微观结构、形貌、成分及成分分布等进行了细致的研究.结果表明:由微球状Au/Ag球壳堆积而成的泡沫材料中微球直径约8 μm,微球壁厚200～1200 nm; Au/Ag泡沫材料的球壳可细分为3层,内层和外层为Au/Ag合金的微粒,中间主要是非晶碳层,夹杂有少量的Au/Ag微粒；Au/Ag泡沫材料的骨架由单个空心球壳组成,球壳之间通过接触点的金属镀层连接在一起；球壳上有小孔状结构,是在热分解法去除聚苯乙烯微球模板对形成的；球壳壁厚分布不均匀,少数球壳有塌陷、变形、破裂等现象.这些详细的分析有助于改进工艺,提高Au/Ag泡沫材料的制备质量.
이용FIB/SEM절편、XRD、TEM화EDX、EELS등선진분석기술대미구모판법소제비적Au/Ag포말재료적미관결구、형모、성분급성분분포등진행료세치적연구.결과표명:유미구상Au/Ag구각퇴적이성적포말재료중미구직경약8 μm,미구벽후200～1200 nm; Au/Ag포말재료적구각가세분위3층,내층화외층위Au/Ag합금적미립,중간주요시비정탄층,협잡유소량적Au/Ag미립；Au/Ag포말재료적골가유단개공심구각조성,구각지간통과접촉점적금속도층련접재일기；구각상유소공상결구,시재열분해법거제취분을희미구모판대형성적；구각벽후분포불균균,소수구각유탑함、변형、파렬등현상.저사상세적분석유조우개진공예,제고Au/Ag포말재료적제비질량.