有色金属（冶炼部分）
有色金屬（冶煉部分）
유색금속（야련부분）
NONFERROUS METALS(EXTRACTIVE METALLURGY)
2013年
9期
56-59
,共4页
刘刚%秦榕%刘生章%王舒娅
劉剛%秦榕%劉生章%王舒婭
류강%진용%류생장%왕서아
多晶硅%西门子法%杂质%精馏%工艺%改进
多晶硅%西門子法%雜質%精餾%工藝%改進
다정규%서문자법%잡질%정류%공예%개진
polycrystalline silicon%Siemens process%impurity%rectification%process%improvement
改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进.结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999％.
改良西門子法是目前國內外多晶硅廠傢最常用的方法,對提純三氯氫硅的三塔精餾工藝進行改進.結果錶明,改進後的四塔精餾工藝可以進一步降低三氯氫硅中硼、燐等雜質的含量,最終精餾塔頂餾齣物高純三氯氫硅純度達到99.999％.
개량서문자법시목전국내외다정규엄가최상용적방법,대제순삼록경규적삼탑정류공예진행개진.결과표명,개진후적사탑정류공예가이진일보강저삼록경규중붕、린등잡질적함량,최종정류탑정류출물고순삼록경규순도체도99.999％.
