强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
9期
199-204
,共6页
颜浩%杨春林%侯晶%唐才学%温圣林%张远航
顏浩%楊春林%侯晶%唐纔學%溫聖林%張遠航
안호%양춘림%후정%당재학%온골림%장원항
连续位相板%磁流变%中频误差%焦斑
連續位相闆%磁流變%中頻誤差%焦斑
련속위상판%자류변%중빈오차%초반
continuous phase plate%magnetorheological finishing%mid-frequency error%focal spot
对采用磁流变抛光(MRF)工艺加工的大口径连续相位板(CPP)的波前及其光强控制特性进行了分析,对由不同的加工参数(走刀间距和走刀偏置)所加工的三组CPP进行了比较,并分析了MRF加工所引入的中频误差对CPP波前和光强特性的影响.结果表明,走刀间距为2 mm、对应走刀偏置范围为0.1～0.3mm时所加工CPP的波前及其光强控制能力较差,远场有一定程度的旁瓣产生;走刀间距为2 mm、偏置范围为0.4～0.5 mm时所加工CPP和走刀间距为1 mm、偏置范围为0.1～0.3 mm时所加工CPP相比较,迭代加工效率提高,CPP波前中频误差得到一定的改善.进一步分析表明MRF所引入的中频误差对CPP波前梯度及旁瓣影响较大.
對採用磁流變拋光(MRF)工藝加工的大口徑連續相位闆(CPP)的波前及其光彊控製特性進行瞭分析,對由不同的加工參數(走刀間距和走刀偏置)所加工的三組CPP進行瞭比較,併分析瞭MRF加工所引入的中頻誤差對CPP波前和光彊特性的影響.結果錶明,走刀間距為2 mm、對應走刀偏置範圍為0.1～0.3mm時所加工CPP的波前及其光彊控製能力較差,遠場有一定程度的徬瓣產生;走刀間距為2 mm、偏置範圍為0.4～0.5 mm時所加工CPP和走刀間距為1 mm、偏置範圍為0.1～0.3 mm時所加工CPP相比較,迭代加工效率提高,CPP波前中頻誤差得到一定的改善.進一步分析錶明MRF所引入的中頻誤差對CPP波前梯度及徬瓣影響較大.
대채용자류변포광(MRF)공예가공적대구경련속상위판(CPP)적파전급기광강공제특성진행료분석,대유불동적가공삼수(주도간거화주도편치)소가공적삼조CPP진행료비교,병분석료MRF가공소인입적중빈오차대CPP파전화광강특성적영향.결과표명,주도간거위2 mm、대응주도편치범위위0.1～0.3mm시소가공CPP적파전급기광강공제능력교차,원장유일정정도적방판산생;주도간거위2 mm、편치범위위0.4～0.5 mm시소가공CPP화주도간거위1 mm、편치범위위0.1～0.3 mm시소가공CPP상비교,질대가공효솔제고,CPP파전중빈오차득도일정적개선.진일보분석표명MRF소인입적중빈오차대CPP파전제도급방판영향교대.
