强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
9期
53-58
,共6页
池伟%任晓明%郭建增%韦承甫
池偉%任曉明%郭建增%韋承甫
지위%임효명%곽건증%위승보
调整架平台%隔振%真空变形%柔性密封连接%光斑抖动
調整架平檯%隔振%真空變形%柔性密封連接%光斑抖動
조정가평태%격진%진공변형%유성밀봉련접%광반두동
mount platform%vibration isolation%vacuum deformation%flexible sealed connection%beam spot jitter
针对光腔镜盒的真空变形和振动对精密光学系统的影响,分析了传统刚性连接的光学调整架平台以及球关节连接结构在减振降噪设计的不足,从支撑和柔性密封连接的角度,设计了隔离振动和光腔镜盒真空变形的精密光学调整架平台,对应用于大型折叠腔的双层光学调整架平台的动力学特性进行ANSYS仿真,并完成了光斑抖动验证实验.结果显示框架式双层光学调整架平台的第一阶弹性体频率可达到126.5,172.3Hz,很好地满足折叠腔光学调整架平台的使用要求;应用在大型折叠腔,抽真空试验前后He-Ne导引光输出光斑位置无变化,形状变化很小,出光过程中输出抖动角均方根值为3.73″,隔离振动传递效果明显.
針對光腔鏡盒的真空變形和振動對精密光學繫統的影響,分析瞭傳統剛性連接的光學調整架平檯以及毬關節連接結構在減振降譟設計的不足,從支撐和柔性密封連接的角度,設計瞭隔離振動和光腔鏡盒真空變形的精密光學調整架平檯,對應用于大型摺疊腔的雙層光學調整架平檯的動力學特性進行ANSYS倣真,併完成瞭光斑抖動驗證實驗.結果顯示框架式雙層光學調整架平檯的第一階彈性體頻率可達到126.5,172.3Hz,很好地滿足摺疊腔光學調整架平檯的使用要求;應用在大型摺疊腔,抽真空試驗前後He-Ne導引光輸齣光斑位置無變化,形狀變化很小,齣光過程中輸齣抖動角均方根值為3.73″,隔離振動傳遞效果明顯.
침대광강경합적진공변형화진동대정밀광학계통적영향,분석료전통강성련접적광학조정가평태이급구관절련접결구재감진강조설계적불족,종지탱화유성밀봉련접적각도,설계료격리진동화광강경합진공변형적정밀광학조정가평태,대응용우대형절첩강적쌍층광학조정가평태적동역학특성진행ANSYS방진,병완성료광반두동험증실험.결과현시광가식쌍층광학조정가평태적제일계탄성체빈솔가체도126.5,172.3Hz,흔호지만족절첩강광학조정가평태적사용요구;응용재대형절첩강,추진공시험전후He-Ne도인광수출광반위치무변화,형상변화흔소,출광과정중수출두동각균방근치위3.73″,격리진동전체효과명현.
