电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2014年
8期
879-884
,共6页
张春雷%刘健%王绍治%史振广%代雷%彭利荣%向阳
張春雷%劉健%王紹治%史振廣%代雷%彭利榮%嚮暘
장춘뢰%류건%왕소치%사진엄%대뢰%팽리영%향양
压电陶瓷%柔性铰链%位移放大机构%非线性运动校正%相移误差
壓電陶瓷%柔性鉸鏈%位移放大機構%非線性運動校正%相移誤差
압전도자%유성교련%위이방대궤구%비선성운동교정%상이오차
piezostack%displacement amplification device%flexure hinges%nonlinear motion correction%phase shifting error
压电陶瓷具有推力大,响应速度快,分辨率高和能耗低等优点,但其形变量小,所以需要位移放大机构对其形变量进行放大,实现长行程高分辨率位移.针对压电陶瓷作为驱动器,柔性铰链位移放大装置作为导向机构的相移微动台运动存在非线性问题,采用多项式模型对其位移特性进行建模,通过求解逆多项式获得使其线性运动非线性电压,利用实验对非线性运动校正结果进行验证.实验结果表明,所采用前馈控制算法可以很好的校正相移微动台非线性运动,校正后相移台在x,y方向产生的最大相移误差为4°与3.2°,满足高精度相移干涉测量对相移台相移误差要求.
壓電陶瓷具有推力大,響應速度快,分辨率高和能耗低等優點,但其形變量小,所以需要位移放大機構對其形變量進行放大,實現長行程高分辨率位移.針對壓電陶瓷作為驅動器,柔性鉸鏈位移放大裝置作為導嚮機構的相移微動檯運動存在非線性問題,採用多項式模型對其位移特性進行建模,通過求解逆多項式穫得使其線性運動非線性電壓,利用實驗對非線性運動校正結果進行驗證.實驗結果錶明,所採用前饋控製算法可以很好的校正相移微動檯非線性運動,校正後相移檯在x,y方嚮產生的最大相移誤差為4°與3.2°,滿足高精度相移榦涉測量對相移檯相移誤差要求.
압전도자구유추력대,향응속도쾌,분변솔고화능모저등우점,단기형변량소,소이수요위이방대궤구대기형변량진행방대,실현장행정고분변솔위이.침대압전도자작위구동기,유성교련위이방대장치작위도향궤구적상이미동태운동존재비선성문제,채용다항식모형대기위이특성진행건모,통과구해역다항식획득사기선성운동비선성전압,이용실험대비선성운동교정결과진행험증.실험결과표명,소채용전궤공제산법가이흔호적교정상이미동태비선성운동,교정후상이태재x,y방향산생적최대상이오차위4°여3.2°,만족고정도상이간섭측량대상이태상이오차요구.
