哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
4期
67-70
,共4页
王东兴%陈嘉宾%张月%山岳
王東興%陳嘉賓%張月%山嶽
왕동흥%진가빈%장월%산악
酞菁铅%薄膜二极管%气敏特性%NO2
酞菁鉛%薄膜二極管%氣敏特性%NO2
태정연%박막이겁관%기민특성%NO2
lead phthalocyanine%thin-film diode%gas-sensing characteristics%NO2
选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料,用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件,所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/Cu,使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性,通过对电流-电压特性的实测数据进行深入的理论分析,比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度.经过测试结果可知:当器件置于10-5的NO2气体74 min后,正向电流减小65倍,对应的MgAl/PbPc肖特基势垒高度约上升了20 meV.同时由于被吸附NO2气体的PbPc薄膜少数载流子电子数目的增加,导致器件的反向电流增加4倍.
選用酞菁鉛作為有機半導體氣敏材料,用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法製備器件,所製備薄膜二極管的結構為MgAl/PbPc/Cu,使用Keithley 4200半導體測試儀與氣敏測量繫統分析器件肖特基二極管的氣敏特性,通過對電流-電壓特性的實測數據進行深入的理論分析,比較齣器件對不同濃度NO2氣體的敏感程度.經過測試結果可知:噹器件置于10-5的NO2氣體74 min後,正嚮電流減小65倍,對應的MgAl/PbPc肖特基勢壘高度約上升瞭20 meV.同時由于被吸附NO2氣體的PbPc薄膜少數載流子電子數目的增加,導緻器件的反嚮電流增加4倍.
선용태정연작위유궤반도체기민재료,용진공열증도、자공천사등도막방법제비기건,소제비박막이겁관적결구위MgAl/PbPc/Cu,사용Keithley 4200반도체측시의여기민측량계통분석기건초특기이겁관적기민특성,통과대전류-전압특성적실측수거진행심입적이론분석,비교출기건대불동농도NO2기체적민감정도.경과측시결과가지:당기건치우10-5적NO2기체74 min후,정향전류감소65배,대응적MgAl/PbPc초특기세루고도약상승료20 meV.동시유우피흡부NO2기체적PbPc박막소수재류자전자수목적증가,도치기건적반향전류증가4배.
