低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2014年
4期
52-54
,共3页
露点仪%半导体制冷%压缩机
露點儀%半導體製冷%壓縮機
로점의%반도체제랭%압축궤
介绍了半导体制冷精密露点仪的基本工作原理、整机系统以及区别于其它露点仪的特点.通过采用红外线光路系统及独特的半导体热端压缩机冷却装置,实现了半导体深度制冷.经湿度标准器比对,得出此仪器具有良好的精确度及再现性.
介紹瞭半導體製冷精密露點儀的基本工作原理、整機繫統以及區彆于其它露點儀的特點.通過採用紅外線光路繫統及獨特的半導體熱耑壓縮機冷卻裝置,實現瞭半導體深度製冷.經濕度標準器比對,得齣此儀器具有良好的精確度及再現性.
개소료반도체제랭정밀로점의적기본공작원리、정궤계통이급구별우기타로점의적특점.통과채용홍외선광로계통급독특적반도체열단압축궤냉각장치,실현료반도체심도제랭.경습도표준기비대,득출차의기구유량호적정학도급재현성.