仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
7期
12-13
,共2页
迟霄%张晓波%刘丽%何越%王连元
遲霄%張曉波%劉麗%何越%王連元
지소%장효파%류려%하월%왕련원
微热板%电极%温度分布
微熱闆%電極%溫度分佈
미열판%전겁%온도분포
micro-hotplate%electrode%temperature distribution
设计了一种新型气体传感器的微热板结构,利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层和绝缘层.通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布,并对测量电极的结构进行了优化.当微热板的基底中前SiO2层、中问Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150 μm、100 μm且测量电极不放叉指时,微热板中心温度最高且能够获得最佳温度分布.这种新型的微热板结构有助于提高传感器的整体性能.
設計瞭一種新型氣體傳感器的微熱闆結構,利用鉑作為電極材料,SiO2作為隔熱層和絕緣層.通過有限元分析工具分析瞭基底中各材料厚度不同時微熱闆的溫度分佈,併對測量電極的結構進行瞭優化.噹微熱闆的基底中前SiO2層、中問Si層、後SiO2層的厚度分彆為50μm、150 μm、100 μm且測量電極不放扠指時,微熱闆中心溫度最高且能夠穫得最佳溫度分佈.這種新型的微熱闆結構有助于提高傳感器的整體性能.
설계료일충신형기체전감기적미열판결구,이용박작위전겁재료,SiO2작위격열층화절연층.통과유한원분석공구분석료기저중각재료후도불동시미열판적온도분포,병대측량전겁적결구진행료우화.당미열판적기저중전SiO2층、중문Si층、후SiO2층적후도분별위50μm、150 μm、100 μm차측량전겁불방차지시,미열판중심온도최고차능구획득최가온도분포.저충신형적미열판결구유조우제고전감기적정체성능.
