稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
9期
1889-1892
,共4页
卜继国%毛昌辉%张艳%张心强%尉秀英%杜军
蔔繼國%毛昌輝%張豔%張心彊%尉秀英%杜軍
복계국%모창휘%장염%장심강%위수영%두군
ZrCoRE%吸气薄膜%射频磁控溅射%结构调控%吸气性能
ZrCoRE%吸氣薄膜%射頻磁控濺射%結構調控%吸氣性能
ZrCoRE%흡기박막%사빈자공천사%결구조공%흡기성능
ZrCoRE%thin film getter%RF magnetron sputtering%structure modification%sorption property
运用扫描电镜、扫描原子探针、X射线衍射仪和动态法分析了高硼硅玻璃表面改性对ZrCoRE薄膜结构和吸气性能的影响.结果表明,ZrCoRE薄膜的纳米组织受衬底表面的影响较大,其表面粗糙度和结构无序度随衬底粗糙度增加而增大:经300℃激活30 rmin后,Ⅰ-型薄膜(Ra=5 nm)吸气性能随时间下降较快,Ⅱ-型(Ra=7 nm)、Ⅲ-型(Ra=59nm)及Ⅳ-型薄膜(Ra=125 nm)的吸气速率依次增大并具有平稳的吸气平台,Ⅳ-型薄膜吸气性能最好.
運用掃描電鏡、掃描原子探針、X射線衍射儀和動態法分析瞭高硼硅玻璃錶麵改性對ZrCoRE薄膜結構和吸氣性能的影響.結果錶明,ZrCoRE薄膜的納米組織受襯底錶麵的影響較大,其錶麵粗糙度和結構無序度隨襯底粗糙度增加而增大:經300℃激活30 rmin後,Ⅰ-型薄膜(Ra=5 nm)吸氣性能隨時間下降較快,Ⅱ-型(Ra=7 nm)、Ⅲ-型(Ra=59nm)及Ⅳ-型薄膜(Ra=125 nm)的吸氣速率依次增大併具有平穩的吸氣平檯,Ⅳ-型薄膜吸氣性能最好.
운용소묘전경、소묘원자탐침、X사선연사의화동태법분석료고붕규파리표면개성대ZrCoRE박막결구화흡기성능적영향.결과표명,ZrCoRE박막적납미조직수츤저표면적영향교대,기표면조조도화결구무서도수츤저조조도증가이증대:경300℃격활30 rmin후,Ⅰ-형박막(Ra=5 nm)흡기성능수시간하강교쾌,Ⅱ-형(Ra=7 nm)、Ⅲ-형(Ra=59nm)급Ⅳ-형박막(Ra=125 nm)적흡기속솔의차증대병구유평은적흡기평태,Ⅳ-형박막흡기성능최호.
