深圳大学学报（理工版）
深圳大學學報（理工版）
심수대학학보（리공판）
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERSITY (SCIENCE & ENGINEERING)
2013年
4期
404-408
,共5页
刘丽君%张东平%于永芹%徐家庆%刘世全
劉麗君%張東平%于永芹%徐傢慶%劉世全
류려군%장동평%우영근%서가경%류세전
蓝宝石晶体%泡生法%真空度%钨钼材料氧化%晶体生长%熔体蒸发%LED衬底材料
藍寶石晶體%泡生法%真空度%鎢鉬材料氧化%晶體生長%鎔體蒸髮%LED襯底材料
람보석정체%포생법%진공도%오목재료양화%정체생장%용체증발%LED츤저재료
sapphire crystal%Kyropoulos method%vacuum degree%oxidization of tungsten and molybdenum%crystal growth%molten evaporation deposit%LED substrate material
指出对泡生法蓝宝石晶体生长,无需采用过高的真空度.炉内真空度达10-1 Pa级时,进一步提高真空度对长晶炉热效率影响不大,较低的真空度有利晶体在出炉前低温段的冷却.研究表明,尽管高真空度可以有效防止热场中钨/钼材料的氧化,但真空度过高容易导致钨钼材料的升华损耗；真空度越高,原料三氧化二铝熔体蒸发越甚,导致热场零部件污染越严重,从而缩短热场零部件的使用寿命；采用惰性气体保护可以在较低真空度下防止热场中钨钼件氧化,同时抑制熔体蒸发、保持热场洁净并延长热场使用寿命.
指齣對泡生法藍寶石晶體生長,無需採用過高的真空度.爐內真空度達10-1 Pa級時,進一步提高真空度對長晶爐熱效率影響不大,較低的真空度有利晶體在齣爐前低溫段的冷卻.研究錶明,儘管高真空度可以有效防止熱場中鎢/鉬材料的氧化,但真空度過高容易導緻鎢鉬材料的升華損耗；真空度越高,原料三氧化二鋁鎔體蒸髮越甚,導緻熱場零部件汙染越嚴重,從而縮短熱場零部件的使用壽命；採用惰性氣體保護可以在較低真空度下防止熱場中鎢鉬件氧化,同時抑製鎔體蒸髮、保持熱場潔淨併延長熱場使用壽命.
지출대포생법람보석정체생장,무수채용과고적진공도.로내진공도체10-1 Pa급시,진일보제고진공도대장정로열효솔영향불대,교저적진공도유리정체재출로전저온단적냉각.연구표명,진관고진공도가이유효방지열장중오/목재료적양화,단진공도과고용역도치오목재료적승화손모；진공도월고,원료삼양화이려용체증발월심,도치열장령부건오염월엄중,종이축단열장령부건적사용수명；채용타성기체보호가이재교저진공도하방지열장중오목건양화,동시억제용체증발、보지열장길정병연장열장사용수명.
