河北工业科技
河北工業科技
하북공업과기
HEBEI JOURNAL OF INDUSTRIAL SCIENCE & TECHNOLOGY
2014年
4期
302-305
,共4页
类金刚石薄膜%拉曼光谱%热稳定性
類金剛石薄膜%拉曼光譜%熱穩定性
류금강석박막%랍만광보%열은정성
diamond%like%carbon(DLC)%thin%films%Raman%spectroscopy%thermal%stability
利用阴极真空弧放电设备制备了表面光滑的类金刚石薄膜材料,通过多波长激发的拉曼光谱研究了不同退火条件下所制薄膜的热稳定性.实验结果表明,在小于400℃的温度处理下,类金刚石薄膜微观结构几乎不发生变化,薄膜处于稳定区;当温度升高至600℃,微观结构开始发生微妙的变化,认为处于亚稳定区;当温度升至800℃甚至1 000℃时,类金刚石薄膜的微观结构发生显著变化,薄膜开始出现石墨化,物理性质不能保持稳定.
利用陰極真空弧放電設備製備瞭錶麵光滑的類金剛石薄膜材料,通過多波長激髮的拉曼光譜研究瞭不同退火條件下所製薄膜的熱穩定性.實驗結果錶明,在小于400℃的溫度處理下,類金剛石薄膜微觀結構幾乎不髮生變化,薄膜處于穩定區;噹溫度升高至600℃,微觀結構開始髮生微妙的變化,認為處于亞穩定區;噹溫度升至800℃甚至1 000℃時,類金剛石薄膜的微觀結構髮生顯著變化,薄膜開始齣現石墨化,物理性質不能保持穩定.
이용음겁진공호방전설비제비료표면광활적류금강석박막재료,통과다파장격발적랍만광보연구료불동퇴화조건하소제박막적열은정성.실험결과표명,재소우400℃적온도처리하,류금강석박막미관결구궤호불발생변화,박막처우은정구;당온도승고지600℃,미관결구개시발생미묘적변화,인위처우아은정구;당온도승지800℃심지1 000℃시,류금강석박막적미관결구발생현저변화,박막개시출현석묵화,물이성질불능보지은정.
