强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
8期
1916-1920
,共5页
严垒%马志斌%张璋%邓煜恒%王兴立
嚴壘%馬誌斌%張璋%鄧煜恆%王興立
엄루%마지빈%장장%산욱항%왕흥립
激光%轴向偏焦法%平整化%CVD金刚石膜
激光%軸嚮偏焦法%平整化%CVD金剛石膜
격광%축향편초법%평정화%CVD금강석막
laser%axial offset-focus%flatting%CVD diamond film
利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响,以及扫描间距对平整化效果的影响.研究结果表明:扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大；凹槽深度随激光充电电压的升高而增大,随偏焦量的增大而增大.激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后,其粗糙度显著减小,利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理,能够有效去除表层石墨,从而达到理想的平整化效果.
利用Nd:YAG型金剛石精密激光切割機,採用激光軸嚮偏焦法對化學氣相沉積(CVD)法製備的金剛石膜錶麵進行掃描式平整化處理,利用掃描電子顯微鏡(SEM)、粗糙度儀和金相顯微鏡對平整化後的金剛石錶麵進行錶徵,研究瞭激光充電電壓和焦點位置對掃描凹槽寬度和深度的影響,以及掃描間距對平整化效果的影響.研究結果錶明:掃描凹槽寬度隨激光充電電壓的升高而增大；凹槽深度隨激光充電電壓的升高而增大,隨偏焦量的增大而增大.激光軸嚮偏焦法對CVD金剛石膜進行平整化處理後,其粗糙度顯著減小,利用氫等離子體對其錶麵進行刻蝕處理,能夠有效去除錶層石墨,從而達到理想的平整化效果.
이용Nd:YAG형금강석정밀격광절할궤,채용격광축향편초법대화학기상침적(CVD)법제비적금강석막표면진행소묘식평정화처리,이용소묘전자현미경(SEM)、조조도의화금상현미경대평정화후적금강석표면진행표정,연구료격광충전전압화초점위치대소묘요조관도화심도적영향,이급소묘간거대평정화효과적영향.연구결과표명:소묘요조관도수격광충전전압적승고이증대；요조심도수격광충전전압적승고이증대,수편초량적증대이증대.격광축향편초법대CVD금강석막진행평정화처리후,기조조도현저감소,이용경등리자체대기표면진행각식처리,능구유효거제표층석묵,종이체도이상적평정화효과.
