光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2013年
9期
2562-2565
,共4页
马志斌%吴建鹏%陶利平%曹为%李国伟%汪建华
馬誌斌%吳建鵬%陶利平%曹為%李國偉%汪建華
마지빈%오건붕%도리평%조위%리국위%왕건화
发射光谱%甲烷浓度%均匀性
髮射光譜%甲烷濃度%均勻性
발사광보%갑완농도%균균성
Optical emission spectroscopy%Methane concentration%Uniformity
在2.45 GHz,800 W微波等离子体化学气相沉积装置上,利用发射光谱对CH4/H2等离子体进行在线诊断,分析了等离子体中存在的基团,研究了甲烷浓度对各基团浓度及基团的空间分布的影响.结果表明:等离子体中存在CH,Hα,Hβ,Hγ,C2基团和Mo杂质原子,随着甲烷浓度的升高,各基团的发射光谱强度均有增加,其中C2基团强度显著增加.CH与Hα基团的发射光谱强度比值随甲烷浓度的增加变化不大,而Q与Hα基团的发射光谱强度的比值随甲烷浓度的增加而显著增大.另外,甲烷浓度的增加使得等离子体中各基团在空间分布的均匀性变差.
在2.45 GHz,800 W微波等離子體化學氣相沉積裝置上,利用髮射光譜對CH4/H2等離子體進行在線診斷,分析瞭等離子體中存在的基糰,研究瞭甲烷濃度對各基糰濃度及基糰的空間分佈的影響.結果錶明:等離子體中存在CH,Hα,Hβ,Hγ,C2基糰和Mo雜質原子,隨著甲烷濃度的升高,各基糰的髮射光譜彊度均有增加,其中C2基糰彊度顯著增加.CH與Hα基糰的髮射光譜彊度比值隨甲烷濃度的增加變化不大,而Q與Hα基糰的髮射光譜彊度的比值隨甲烷濃度的增加而顯著增大.另外,甲烷濃度的增加使得等離子體中各基糰在空間分佈的均勻性變差.
재2.45 GHz,800 W미파등리자체화학기상침적장치상,이용발사광보대CH4/H2등리자체진행재선진단,분석료등리자체중존재적기단,연구료갑완농도대각기단농도급기단적공간분포적영향.결과표명:등리자체중존재CH,Hα,Hβ,Hγ,C2기단화Mo잡질원자,수착갑완농도적승고,각기단적발사광보강도균유증가,기중C2기단강도현저증가.CH여Hα기단적발사광보강도비치수갑완농도적증가변화불대,이Q여Hα기단적발사광보강도적비치수갑완농도적증가이현저증대.령외,갑완농도적증가사득등리자체중각기단재공간분포적균균성변차.
