传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
8期
92-94,101
,共4页
孙永明%刘武%张卫平%陈宏海
孫永明%劉武%張衛平%陳宏海
손영명%류무%장위평%진굉해
柔性传感器阵列%双热线%聚酰亚胺%有限元分析%MEMS
柔性傳感器陣列%雙熱線%聚酰亞胺%有限元分析%MEMS
유성전감기진렬%쌍열선%취선아알%유한원분석%MEMS
flexible sensor array%double hot-wires%polyimide(PI)%finite element analysis(FEA)%MEMS
设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义.介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计；通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计；利用MEMS工艺制作方法,实现了信号背线引接技术,减少了对流场的干扰.实验结果表明:工艺流程设计和器件参数设计合理,传感器阵列具有良好测试性能.
設計瞭一種基于柔性MEMS技術的雙熱線結構剪切應力傳感器,可以實現麯體錶麵上二維剪切應力的矢量測量,對于實現流場的主動控製具有重要的意義.介紹瞭雙熱線熱剪切應力傳感器及其陣列的原理和結構設計；通過有限元倣真分析對器件的呎吋參數進行瞭優化設計；利用MEMS工藝製作方法,實現瞭信號揹線引接技術,減少瞭對流場的榦擾.實驗結果錶明:工藝流程設計和器件參數設計閤理,傳感器陣列具有良好測試性能.
설계료일충기우유성MEMS기술적쌍열선결구전절응력전감기,가이실현곡체표면상이유전절응력적시량측량,대우실현류장적주동공제구유중요적의의.개소료쌍열선열전절응력전감기급기진렬적원리화결구설계；통과유한원방진분석대기건적척촌삼수진행료우화설계；이용MEMS공예제작방법,실현료신호배선인접기술,감소료대류장적간우.실험결과표명:공예류정설계화기건삼수설계합리,전감기진렬구유량호측시성능.
