传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
8期
60-62
,共3页
白英良%雷飞%奥顿%韩立
白英良%雷飛%奧頓%韓立
백영량%뢰비%오돈%한립
微模%聚合物微悬臂梁%温度%线性关系
微模%聚閤物微懸臂樑%溫度%線性關繫
미모%취합물미현비량%온도%선성관계
micro-mold%polymer-micocantilever%temperature%linear relation
利用微塑模技术和镀膜技术制作了一种双层聚合物悬臂梁,基于聚合物和金2种材料膨胀系数的差异,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过光杠杆放大由位置敏感探测器(PSD)进行检测.理论计算和实验结果表明:在聚合物悬臂梁处于玻璃态下,输出电压与温度呈线性关系.
利用微塑模技術和鍍膜技術製作瞭一種雙層聚閤物懸臂樑,基于聚閤物和金2種材料膨脹繫數的差異,不同溫度下樑的撓度不同,其形變可通過光槓桿放大由位置敏感探測器(PSD)進行檢測.理論計算和實驗結果錶明:在聚閤物懸臂樑處于玻璃態下,輸齣電壓與溫度呈線性關繫.
이용미소모기술화도막기술제작료일충쌍층취합물현비량,기우취합물화금2충재료팽창계수적차이,불동온도하량적뇨도불동,기형변가통과광강간방대유위치민감탐측기(PSD)진행검측.이론계산화실험결과표명:재취합물현비량처우파리태하,수출전압여온도정선성관계.
