传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
8期
29-31
,共3页
贾丁立%胡明%李明达%刘青林
賈丁立%鬍明%李明達%劉青林
가정립%호명%리명체%류청림
室温气体传感器%金属氧化物半导体%快速热处理%发光二极管
室溫氣體傳感器%金屬氧化物半導體%快速熱處理%髮光二極管
실온기체전감기%금속양화물반도체%쾌속열처리%발광이겁관
room temperature gas sensor%metal oxide semiconductor%rapidly thermal treated%LED
采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性.首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳米WO3薄膜,然后在N2∶O2=4∶1的混合气氛中,分别在500,600℃和700℃的热处理温度下对纳米WO3薄膜进行快速热处理.所得样品表面形貌用扫描电子显微镜(SEM)进行观察,晶体结构用X射线衍射仪(XRD)进行表征,在室温下检测经过不同热处理温度的样品在LED光照下的WO3薄膜气体传感器的NO2敏感性能.结果表明:经过600℃快速热处理的样品的气敏性能最好,其具有较大的比表面积,灵敏度最高,在室温下可以达到100,且具有较好的响应恢复特性,测试环境的辅助激励光源LED易与IC集成,具有降低能耗、简便实用的特点.
採用快速熱處理的方法,提高瞭室溫下WO3薄膜氣體傳感器對NO2的敏感特性.首先採用直流對靶磁控濺射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉積納米WO3薄膜,然後在N2∶O2=4∶1的混閤氣氛中,分彆在500,600℃和700℃的熱處理溫度下對納米WO3薄膜進行快速熱處理.所得樣品錶麵形貌用掃描電子顯微鏡(SEM)進行觀察,晶體結構用X射線衍射儀(XRD)進行錶徵,在室溫下檢測經過不同熱處理溫度的樣品在LED光照下的WO3薄膜氣體傳感器的NO2敏感性能.結果錶明:經過600℃快速熱處理的樣品的氣敏性能最好,其具有較大的比錶麵積,靈敏度最高,在室溫下可以達到100,且具有較好的響應恢複特性,測試環境的輔助激勵光源LED易與IC集成,具有降低能耗、簡便實用的特點.
채용쾌속열처리적방법,제고료실온하WO3박막기체전감기대NO2적민감특성.수선채용직류대파자공천사적방법재Al2O3도자기저상침적납미WO3박막,연후재N2∶O2=4∶1적혼합기분중,분별재500,600℃화700℃적열처리온도하대납미WO3박막진행쾌속열처리.소득양품표면형모용소묘전자현미경(SEM)진행관찰,정체결구용X사선연사의(XRD)진행표정,재실온하검측경과불동열처리온도적양품재LED광조하적WO3박막기체전감기적NO2민감성능.결과표명:경과600℃쾌속열처리적양품적기민성능최호,기구유교대적비표면적,령민도최고,재실온하가이체도100,차구유교호적향응회복특성,측시배경적보조격려광원LED역여IC집성,구유강저능모、간편실용적특점.
