科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2013年
21期
6229-6234
,共6页
貊泽强%余锦%樊仲维%刘洋%葛文琦%张雪%聂树真%郭广妍%王治昊
貊澤彊%餘錦%樊仲維%劉洋%葛文琦%張雪%聶樹真%郭廣妍%王治昊
맥택강%여금%번중유%류양%갈문기%장설%섭수진%곽엄연%왕치호
激光微细加工%控制系统%光束整形%光机同步
激光微細加工%控製繫統%光束整形%光機同步
격광미세가공%공제계통%광속정형%광궤동보
laser micromachining%control system%bean shaping%laser machine synchronization
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元.首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响.将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工.其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术,使得激光脉冲在空间上均匀分布,改善了加工效果.最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能,实现系统加工线宽达到3.64μm,绝对定位精度小于1μm的激光微加工.
介紹瞭自主設計高精度皮秒激光微加工繫統及其控製單元.首先在加工繫統整體方案的設計上充分攷慮瞭激光器的選擇、光束質量、控製方式等對加工精度的影響.將高斯光束轉化為平頂光束引入激光微加工.其次使用瞭一種位置比較脈遲的光機同步技術,使得激光脈遲在空間上均勻分佈,改善瞭加工效果.最後在繫統中加入瞭路徑規劃、實時鑑測及同步顯示等功能,實現繫統加工線寬達到3.64μm,絕對定位精度小于1μm的激光微加工.
개소료자주설계고정도피초격광미가공계통급기공제단원.수선재가공계통정체방안적설계상충분고필료격광기적선택、광속질량、공제방식등대가공정도적영향.장고사광속전화위평정광속인입격광미가공.기차사용료일충위치비교맥충적광궤동보기술,사득격광맥충재공간상균균분포,개선료가공효과.최후재계통중가입료로경규화、실시감측급동보현시등공능,실현계통가공선관체도3.64μm,절대정위정도소우1μm적격광미가공.
