南昌航空大学学报（自然科学版）
南昌航空大學學報（自然科學版）
남창항공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANCHANG HANGKONG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
2期
73-78
,共6页
共沉淀法%钛掺杂氧化铈%硅晶片抛光%去除速率
共沉澱法%鈦摻雜氧化鈰%硅晶片拋光%去除速率
공침정법%태참잡양화시%규정편포광%거제속솔
co-precipitation method%titanium-doping ceria%polishing for silicon wafer%material removal rate
以已二醇/水混合溶液为反应介质并结合正丁醇共沸蒸馏处理前驱体,通过化学共沉淀法制备掺钛的Ce1-xTixO2(x=0,0.1,0.2,0.3)粉体,运用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)、Zeta电位仪等仪器对其物相、外观形貌、表面电位等性质进行了表征,通过测定去除速率和原子力显微镜观察硅片表面的微观形貌来评价钛掺杂对CeO2磨料硅片抛光性能的影响.结果表明,900℃焙烧时所合成的CeO2及其复合氧化物为均一的纳米球状粒子,一次粒子尺寸为40 nm～50nm.纳米Ce0.8Ti0.2O2粉体对硅片的去除速率达到最大值139nm·min-1,是纳米CeO2磨料(67nm·min-1)的2倍,且在1.0μm×1.0μm的范围内微观表面粗糙度Rs值达到0.254nm,而Ce0.9Ti0.1O2和Ce0.7Ti0.3O2的去除速率分别为112nm · min-1和89nm·min-1.适量钛掺杂导致纳米CeO2磨料硅片抛光性能显著提高,它与钛掺杂调谐增大纳米CeO2磨料的其负表面电位大小和生成CeTi2O6物相密切相关.
以已二醇/水混閤溶液為反應介質併結閤正丁醇共沸蒸餾處理前驅體,通過化學共沉澱法製備摻鈦的Ce1-xTixO2(x=0,0.1,0.2,0.3)粉體,運用X射線衍射儀(XRD)、透射電鏡(TEM)、Zeta電位儀等儀器對其物相、外觀形貌、錶麵電位等性質進行瞭錶徵,通過測定去除速率和原子力顯微鏡觀察硅片錶麵的微觀形貌來評價鈦摻雜對CeO2磨料硅片拋光性能的影響.結果錶明,900℃焙燒時所閤成的CeO2及其複閤氧化物為均一的納米毬狀粒子,一次粒子呎吋為40 nm～50nm.納米Ce0.8Ti0.2O2粉體對硅片的去除速率達到最大值139nm·min-1,是納米CeO2磨料(67nm·min-1)的2倍,且在1.0μm×1.0μm的範圍內微觀錶麵粗糙度Rs值達到0.254nm,而Ce0.9Ti0.1O2和Ce0.7Ti0.3O2的去除速率分彆為112nm · min-1和89nm·min-1.適量鈦摻雜導緻納米CeO2磨料硅片拋光性能顯著提高,它與鈦摻雜調諧增大納米CeO2磨料的其負錶麵電位大小和生成CeTi2O6物相密切相關.
이이이순/수혼합용액위반응개질병결합정정순공비증류처리전구체,통과화학공침정법제비참태적Ce1-xTixO2(x=0,0.1,0.2,0.3)분체,운용X사선연사의(XRD)、투사전경(TEM)、Zeta전위의등의기대기물상、외관형모、표면전위등성질진행료표정,통과측정거제속솔화원자력현미경관찰규편표면적미관형모래평개태참잡대CeO2마료규편포광성능적영향.결과표명,900℃배소시소합성적CeO2급기복합양화물위균일적납미구상입자,일차입자척촌위40 nm～50nm.납미Ce0.8Ti0.2O2분체대규편적거제속솔체도최대치139nm·min-1,시납미CeO2마료(67nm·min-1)적2배,차재1.0μm×1.0μm적범위내미관표면조조도Rs치체도0.254nm,이Ce0.9Ti0.1O2화Ce0.7Ti0.3O2적거제속솔분별위112nm · min-1화89nm·min-1.괄량태참잡도치납미CeO2마료규편포광성능현저제고,타여태참잡조해증대납미CeO2마료적기부표면전위대소화생성CeTi2O6물상밀절상관.
