Mg掺杂ZnO薄膜的晶体结构分析
Mg참잡ZnO박막적정체결구분석
The crystal structure analysis of Mg-doped ZnO thin films
  • 万方数据
    天津理工大学学报 천진리공대학학보
    JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
    2013年 4期 43-46 ,共4页

    代红丽%王洛欣%秦云

    대홍려%왕락흔%진운

    ZnO薄膜%溶胶-凝胶法%晶体结构 ZnO薄膜%溶膠-凝膠法%晶體結構
    ZnO박막%용효-응효법%정체결구
    ZnO thin films%sol-gel process%crystal structure
    采用溶胶-凝胶工艺在Si(111)衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜,利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当掺杂量Mg2+浓度增大时,衍射峰向大角度方向移动;但MgxZn1-xO薄膜仍然是具有(002)择优取向的六方纤锌矿结构.
    채용용효-응효공예재Si(111)츤저상제비료MgxZn1-xO박막,이용X사선연사의대박막적정체결구진행료분석토론.결과표명,당참잡량Mg2+농도증대시,연사봉향대각도방향이동;단MgxZn1-xO박막잉연시구유(002)택우취향적륙방섬자광결구.
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