重庆理工大学学报（自然科学版）
重慶理工大學學報（自然科學版）
중경리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2013年
8期
36-40
,共5页
柯晓龙%刘建春%黄海滨%郭隐彪
柯曉龍%劉建春%黃海濱%郭隱彪
가효룡%류건춘%황해빈%곽은표
光学非球面%检测平台%离线测量%大尺寸%高精度
光學非毬麵%檢測平檯%離線測量%大呎吋%高精度
광학비구면%검측평태%리선측량%대척촌%고정도
optical aspheric lens%measurement platform%off-machine measurement%large scale%high-precision
针对光学非球面元件精密面形测量的需要,提出了一种大尺寸精密检测平台的测量与控制技术.通过讨论检测平台离线测量原理,采用高精度直线电机、0.1 μm接触式/非接触式测量传感器以及自主开发测量评价软件为核心的软硬件控制方案,完成了大尺寸精密检测平台的设计与搭建,并针对光学非球面元件的测量特点,开发了配套的测量软件,以实现大口径光学非球面元件的面形测量与评价.光学非球面元件的测量实验结果表明:该检测系统可以有效地应用于非球面表面形貌的精密测量.
針對光學非毬麵元件精密麵形測量的需要,提齣瞭一種大呎吋精密檢測平檯的測量與控製技術.通過討論檢測平檯離線測量原理,採用高精度直線電機、0.1 μm接觸式/非接觸式測量傳感器以及自主開髮測量評價軟件為覈心的軟硬件控製方案,完成瞭大呎吋精密檢測平檯的設計與搭建,併針對光學非毬麵元件的測量特點,開髮瞭配套的測量軟件,以實現大口徑光學非毬麵元件的麵形測量與評價.光學非毬麵元件的測量實驗結果錶明:該檢測繫統可以有效地應用于非毬麵錶麵形貌的精密測量.
침대광학비구면원건정밀면형측량적수요,제출료일충대척촌정밀검측평태적측량여공제기술.통과토론검측평태리선측량원리,채용고정도직선전궤、0.1 μm접촉식/비접촉식측량전감기이급자주개발측량평개연건위핵심적연경건공제방안,완성료대척촌정밀검측평태적설계여탑건,병침대광학비구면원건적측량특점,개발료배투적측량연건,이실현대구경광학비구면원건적면형측량여평개.광학비구면원건적측량실험결과표명:해검측계통가이유효지응용우비구면표면형모적정밀측량.
