西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2013年
9期
126-133
,共8页
李世泽%魏正英%杜军%唐一平
李世澤%魏正英%杜軍%唐一平
리세택%위정영%두군%당일평
微压印%抗蚀剂填充%可视化研究%数值模拟
微壓印%抗蝕劑填充%可視化研究%數值模擬
미압인%항식제전충%가시화연구%수치모의
microimprint%resist filling%visualization research%numerical simulation
为了提高微压印的质量,改进工艺参数优化模具结构,对微压印抗蚀剂的填充行为进行了数值计算和可视化实验研究.实验在三维离焦数字粒子图像测速系统中进行,由此提取了抗蚀剂中的荧光示踪粒子的坐标,通过时间解析算法获得了示踪粒子的三维粒子场,利用粒子跟踪测试技术获得了示踪粒子的速度场.数值模拟中采用了计算流体动力学软件,同时考虑了表面张力和接触角等因素,并根据模具特征划分了不同的压印区域,以分析、预测压印模型中的抗蚀剂填充行为.研究结果显示:数值模拟与实验结果吻合较好,抗蚀剂速度最大值在模具尖角与支撑基板之间,抗蚀剂速度水平方向上的实验最大误差为6.6％,竖直方向上的最大误差为9.6％；模具侧壁下方粒子运动轨迹的演化方向决定着抗蚀剂的体积转移方向和最终的填充形貌.该结果可为深入研究微压印中抗蚀剂流动提供参考.
為瞭提高微壓印的質量,改進工藝參數優化模具結構,對微壓印抗蝕劑的填充行為進行瞭數值計算和可視化實驗研究.實驗在三維離焦數字粒子圖像測速繫統中進行,由此提取瞭抗蝕劑中的熒光示蹤粒子的坐標,通過時間解析算法穫得瞭示蹤粒子的三維粒子場,利用粒子跟蹤測試技術穫得瞭示蹤粒子的速度場.數值模擬中採用瞭計算流體動力學軟件,同時攷慮瞭錶麵張力和接觸角等因素,併根據模具特徵劃分瞭不同的壓印區域,以分析、預測壓印模型中的抗蝕劑填充行為.研究結果顯示:數值模擬與實驗結果吻閤較好,抗蝕劑速度最大值在模具尖角與支撐基闆之間,抗蝕劑速度水平方嚮上的實驗最大誤差為6.6％,豎直方嚮上的最大誤差為9.6％；模具側壁下方粒子運動軌跡的縯化方嚮決定著抗蝕劑的體積轉移方嚮和最終的填充形貌.該結果可為深入研究微壓印中抗蝕劑流動提供參攷.
위료제고미압인적질량,개진공예삼수우화모구결구,대미압인항식제적전충행위진행료수치계산화가시화실험연구.실험재삼유리초수자입자도상측속계통중진행,유차제취료항식제중적형광시종입자적좌표,통과시간해석산법획득료시종입자적삼유입자장,이용입자근종측시기술획득료시종입자적속도장.수치모의중채용료계산류체동역학연건,동시고필료표면장력화접촉각등인소,병근거모구특정화분료불동적압인구역,이분석、예측압인모형중적항식제전충행위.연구결과현시:수치모의여실험결과문합교호,항식제속도최대치재모구첨각여지탱기판지간,항식제속도수평방향상적실험최대오차위6.6％,수직방향상적최대오차위9.6％；모구측벽하방입자운동궤적적연화방향결정착항식제적체적전이방향화최종적전충형모.해결과가위심입연구미압인중항식제류동제공삼고.
