无机盐工业
無機鹽工業
무궤염공업
INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY
2014年
8期
44-46
,共3页
钛酸钡%薄膜%介电常数
鈦痠鋇%薄膜%介電常數
태산패%박막%개전상수
BaTiO3%thin film%dielectric constant
以纳米钛酸钡粉体为原料,采用电泳沉积法制备得到较薄的钛酸钡薄膜.研究了电压、沉积时间和悬浮液浓度对钛酸钡薄膜成膜效果的影响,确定了钛酸钡薄膜的最佳成膜工艺条件:乙酰丙酮-乙醇的混合溶液质量浓度为75 g/L,直流电压为50 V,电泳5 min.采用反复电泳沉积和反复烧结的方法可以有效避免薄膜烧结过程中裂纹的产生.实验还发现钛酸钡薄膜的介点常数具有与钛酸钡陶瓷类似的温度特性.
以納米鈦痠鋇粉體為原料,採用電泳沉積法製備得到較薄的鈦痠鋇薄膜.研究瞭電壓、沉積時間和懸浮液濃度對鈦痠鋇薄膜成膜效果的影響,確定瞭鈦痠鋇薄膜的最佳成膜工藝條件:乙酰丙酮-乙醇的混閤溶液質量濃度為75 g/L,直流電壓為50 V,電泳5 min.採用反複電泳沉積和反複燒結的方法可以有效避免薄膜燒結過程中裂紋的產生.實驗還髮現鈦痠鋇薄膜的介點常數具有與鈦痠鋇陶瓷類似的溫度特性.
이납미태산패분체위원료,채용전영침적법제비득도교박적태산패박막.연구료전압、침적시간화현부액농도대태산패박막성막효과적영향,학정료태산패박막적최가성막공예조건:을선병동-을순적혼합용액질량농도위75 g/L,직류전압위50 V,전영5 min.채용반복전영침적화반복소결적방법가이유효피면박막소결과정중렬문적산생.실험환발현태산패박막적개점상수구유여태산패도자유사적온도특성.
