聊城大学学报（自然科学版）
聊城大學學報（自然科學版）
료성대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAOCHENG TEACHERS UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2014年
3期
68-70
,共3页
TiO2薄膜%激光脉冲沉积%带隙
TiO2薄膜%激光脈遲沉積%帶隙
TiO2박막%격광맥충침적%대극
为了研究TiO2薄膜的生长机制及结构对其带隙的影响,采用激光脉冲沉积方法在超高真空下制备了TiO2薄膜.X射线衍射结果显示在不同温度和不同缓冲层上生长的TiO2薄膜以板钛矿结构为主,缓冲层对薄膜结构影响不大,高的生长温度提高了薄膜的结晶度.透射谱的结果表明,随着生长温度和生长气压的升高,TiO2的带隙逐渐增大,在生长ZnO做为缓冲层后,TiO2薄膜的结晶度降低,随ZnO结晶度的提高,TiO2对复合薄膜带隙的影响消失.
為瞭研究TiO2薄膜的生長機製及結構對其帶隙的影響,採用激光脈遲沉積方法在超高真空下製備瞭TiO2薄膜.X射線衍射結果顯示在不同溫度和不同緩遲層上生長的TiO2薄膜以闆鈦礦結構為主,緩遲層對薄膜結構影響不大,高的生長溫度提高瞭薄膜的結晶度.透射譜的結果錶明,隨著生長溫度和生長氣壓的升高,TiO2的帶隙逐漸增大,在生長ZnO做為緩遲層後,TiO2薄膜的結晶度降低,隨ZnO結晶度的提高,TiO2對複閤薄膜帶隙的影響消失.
위료연구TiO2박막적생장궤제급결구대기대극적영향,채용격광맥충침적방법재초고진공하제비료TiO2박막.X사선연사결과현시재불동온도화불동완충층상생장적TiO2박막이판태광결구위주,완충층대박막결구영향불대,고적생장온도제고료박막적결정도.투사보적결과표명,수착생장온도화생장기압적승고,TiO2적대극축점증대,재생장ZnO주위완충층후,TiO2박막적결정도강저,수ZnO결정도적제고,TiO2대복합박막대극적영향소실.
