长治学院学报
長治學院學報
장치학원학보
JOURNAL OF CHANGZHI UNIVERSITY
2014年
2期
33-36
,共4页
BZO导电膜%激光刻蚀%1064 nm%刻蚀速率
BZO導電膜%激光刻蝕%1064 nm%刻蝕速率
BZO도전막%격광각식%1064 nm%각식속솔
主要研究非晶硅太阳能电池中ZnO:B (BZO)导电膜的激光刻蚀工艺.以厚度为1.2 um的BZO导电膜为刻蚀对象,使用1064 nm红外激光进行刻蚀探讨.实验中通过改变激光电流、脉冲频率、刻蚀速率等参数进行对比实验.当激光刻蚀参数为:电流为35 A、脉冲频率为40 KHz、刻线速率为600 mm/s时,可以获得无导通连接点、无空洞、无烧蚀区域、宽度为35um的较佳激光刻线.
主要研究非晶硅太暘能電池中ZnO:B (BZO)導電膜的激光刻蝕工藝.以厚度為1.2 um的BZO導電膜為刻蝕對象,使用1064 nm紅外激光進行刻蝕探討.實驗中通過改變激光電流、脈遲頻率、刻蝕速率等參數進行對比實驗.噹激光刻蝕參數為:電流為35 A、脈遲頻率為40 KHz、刻線速率為600 mm/s時,可以穫得無導通連接點、無空洞、無燒蝕區域、寬度為35um的較佳激光刻線.
주요연구비정규태양능전지중ZnO:B (BZO)도전막적격광각식공예.이후도위1.2 um적BZO도전막위각식대상,사용1064 nm홍외격광진행각식탐토.실험중통과개변격광전류、맥충빈솔、각식속솔등삼수진행대비실험.당격광각식삼수위:전류위35 A、맥충빈솔위40 KHz、각선속솔위600 mm/s시,가이획득무도통련접점、무공동、무소식구역、관도위35um적교가격광각선.
