分析测试学报
分析測試學報
분석측시학보
JOURNAL OF INSTRUMENTAL ANALYSIS
2014年
7期
854-858
,共5页
大气压电离质谱(APIMS)%超高纯气体%纯度%杂质%分析
大氣壓電離質譜(APIMS)%超高純氣體%純度%雜質%分析
대기압전리질보(APIMS)%초고순기체%순도%잡질%분석
APIMS%ultra high purity gas%purity%impurity%analysis
超高纯气体在工业领域有着重大的需求,必须有相应的高灵敏度杂质检测技术作为支撑.大气压电离质谱(APIMS)具有非常高的灵敏度,通常比电子轰击质谱(EIMS)高104～ 106倍,是分析超高纯气体纯度最有效的方法.该文介绍了APIMS的产生、发展及电离原理,并综述了以往APIMS对超高纯气体纯度分析的工作,包括底气、杂质种类、杂质检出限及特殊杂质的检测方法.由于方法灵敏度对超高纯气体纯度分析至关重要,文中侧重总结了文献中报道的不同杂质的检出限.
超高純氣體在工業領域有著重大的需求,必鬚有相應的高靈敏度雜質檢測技術作為支撐.大氣壓電離質譜(APIMS)具有非常高的靈敏度,通常比電子轟擊質譜(EIMS)高104～ 106倍,是分析超高純氣體純度最有效的方法.該文介紹瞭APIMS的產生、髮展及電離原理,併綜述瞭以往APIMS對超高純氣體純度分析的工作,包括底氣、雜質種類、雜質檢齣限及特殊雜質的檢測方法.由于方法靈敏度對超高純氣體純度分析至關重要,文中側重總結瞭文獻中報道的不同雜質的檢齣限.
초고순기체재공업영역유착중대적수구,필수유상응적고령민도잡질검측기술작위지탱.대기압전리질보(APIMS)구유비상고적령민도,통상비전자굉격질보(EIMS)고104～ 106배,시분석초고순기체순도최유효적방법.해문개소료APIMS적산생、발전급전리원리,병종술료이왕APIMS대초고순기체순도분석적공작,포괄저기、잡질충류、잡질검출한급특수잡질적검측방법.유우방법령민도대초고순기체순도분석지관중요,문중측중총결료문헌중보도적불동잡질적검출한.
