科学导报
科學導報
과학도보
SCIENCE GUIDE
2013年
16期
478-478,479
,共2页
苗壮%田弋纬%胡涛涛%王朋伟
苗壯%田弋緯%鬍濤濤%王朋偉
묘장%전익위%호도도%왕붕위
扫描电镜%测量%薄膜厚度
掃描電鏡%測量%薄膜厚度
소묘전경%측량%박막후도
采用扫描电镜分析测量薄膜厚度中遇到的一些常见问题如图像漂移、薄膜脱落、样品过于倾斜、薄膜与基体界面不清晰等。结果表明：采取适当的手段如调整电镜参数、正确的样品制备方法等能够减小或完全消除这些问题，并得到科学、准确的测量结果。
採用掃描電鏡分析測量薄膜厚度中遇到的一些常見問題如圖像漂移、薄膜脫落、樣品過于傾斜、薄膜與基體界麵不清晰等。結果錶明：採取適噹的手段如調整電鏡參數、正確的樣品製備方法等能夠減小或完全消除這些問題，併得到科學、準確的測量結果。
채용소묘전경분석측량박막후도중우도적일사상견문제여도상표이、박막탈락、양품과우경사、박막여기체계면불청석등。결과표명：채취괄당적수단여조정전경삼수、정학적양품제비방법등능구감소혹완전소제저사문제，병득도과학、준학적측량결과。
