光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2014年
3期
201-204,209
,共5页
杨尚松%胡九龙%洪乙又%王绪丰%樊卫华
楊尚鬆%鬍九龍%洪乙又%王緒豐%樊衛華
양상송%호구룡%홍을우%왕서봉%번위화
薄膜%电磁屏蔽%减反膜%遗传算法
薄膜%電磁屏蔽%減反膜%遺傳算法
박막%전자병폐%감반막%유전산법
thin film%EMI shielding%antireflection coating%genetic algorithm
将电磁屏蔽层ITO薄膜作为一层光学薄膜,与TiO2、SiO2、MgF2一起,设计了宽带电磁屏蔽减反膜.给出了含有单层、双层、三层ITO的电磁屏蔽减反膜的膜系结构,其在可见光范围内剩余反射率均小于0.5％,满足ISO9211标准.该薄膜既具备光学减反效果,同时又具备电磁屏蔽功能,可以用作电磁屏蔽视窗.
將電磁屏蔽層ITO薄膜作為一層光學薄膜,與TiO2、SiO2、MgF2一起,設計瞭寬帶電磁屏蔽減反膜.給齣瞭含有單層、雙層、三層ITO的電磁屏蔽減反膜的膜繫結構,其在可見光範圍內剩餘反射率均小于0.5％,滿足ISO9211標準.該薄膜既具備光學減反效果,同時又具備電磁屏蔽功能,可以用作電磁屏蔽視窗.
장전자병폐층ITO박막작위일층광학박막,여TiO2、SiO2、MgF2일기,설계료관대전자병폐감반막.급출료함유단층、쌍층、삼층ITO적전자병폐감반막적막계결구,기재가견광범위내잉여반사솔균소우0.5％,만족ISO9211표준.해박막기구비광학감반효과,동시우구비전자병폐공능,가이용작전자병폐시창.
