重庆工商大学学报（自然科学版）
重慶工商大學學報（自然科學版）
중경공상대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING TECHNOLOGY AND BUSINESS UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
7期
85-89,96
,共6页
易子为%曾涛%孙翔%程发银
易子為%曾濤%孫翔%程髮銀
역자위%증도%손상%정발은
极紫外多层膜%理想界面%反射率%模拟计算
極紫外多層膜%理想界麵%反射率%模擬計算
겁자외다층막%이상계면%반사솔%모의계산
使用matlab软件编程计算了钼/硅多层膜的反射率随膜层数、波长及入射角等的变化.结果显示,在极紫外波段,存在中心波长为13.3 nm和17.2 nm两个峰值反射波长,反射率分别达到73.1％和53.7％;两中心波长的最佳镀膜层数分别为80和60;两中心波长在入射角小于8°的近正入射情形均存在一个反射率曲线平坦段.
使用matlab軟件編程計算瞭鉬/硅多層膜的反射率隨膜層數、波長及入射角等的變化.結果顯示,在極紫外波段,存在中心波長為13.3 nm和17.2 nm兩箇峰值反射波長,反射率分彆達到73.1％和53.7％;兩中心波長的最佳鍍膜層數分彆為80和60;兩中心波長在入射角小于8°的近正入射情形均存在一箇反射率麯線平坦段.
사용matlab연건편정계산료목/규다층막적반사솔수막층수、파장급입사각등적변화.결과현시,재겁자외파단,존재중심파장위13.3 nm화17.2 nm량개봉치반사파장,반사솔분별체도73.1％화53.7％;량중심파장적최가도막층수분별위80화60;량중심파장재입사각소우8°적근정입사정형균존재일개반사솔곡선평탄단.
