电镀与环保
電鍍與環保
전도여배보
ELECTROPLATING & POLLUTION CONTROL
2014年
5期
8-11
,共4页
马鑫%蒋炳炎%陈中原%吕辉%Stefan Kirchberg
馬鑫%蔣炳炎%陳中原%呂輝%Stefan Kirchberg
마흠%장병염%진중원%려휘%Stefan Kirchberg
电铸微模芯%有限元仿真%微透镜阵列%厚度均匀性
電鑄微模芯%有限元倣真%微透鏡陣列%厚度均勻性
전주미모심%유한원방진%미투경진렬%후도균균성
micro-electroformed mold insert%numerical simulation%micro-lens array%thickness uniformity
利用有限元分析软件Ansys对电铸系统中阴极电流密度分布进行模拟.研究了不同屏蔽挡板对阴极电流密度分布的影响,预测了电铸模芯厚度均匀性的变化趋势.结果发现:屏蔽挡板能提高电铸模芯的厚度均匀性;当屏蔽挡板的方孔与阴极等大时,模芯的厚度均匀性最佳,模芯边缘与中心的厚度比由不使用屏蔽挡板时的2.03缩减至1.15.根据仿真优化结果设置对照实验.使用厚度测量仪检测样品各点的厚度,采用影像测量仪观察微透镜阵列模芯表面形貌及截面厚度的分布情况.实验结果与仿真结果匹配,优化后的模芯边缘与中心的厚度比为1.42,形貌与母版的基本一致.
利用有限元分析軟件Ansys對電鑄繫統中陰極電流密度分佈進行模擬.研究瞭不同屏蔽擋闆對陰極電流密度分佈的影響,預測瞭電鑄模芯厚度均勻性的變化趨勢.結果髮現:屏蔽擋闆能提高電鑄模芯的厚度均勻性;噹屏蔽擋闆的方孔與陰極等大時,模芯的厚度均勻性最佳,模芯邊緣與中心的厚度比由不使用屏蔽擋闆時的2.03縮減至1.15.根據倣真優化結果設置對照實驗.使用厚度測量儀檢測樣品各點的厚度,採用影像測量儀觀察微透鏡陣列模芯錶麵形貌及截麵厚度的分佈情況.實驗結果與倣真結果匹配,優化後的模芯邊緣與中心的厚度比為1.42,形貌與母版的基本一緻.
이용유한원분석연건Ansys대전주계통중음겁전류밀도분포진행모의.연구료불동병폐당판대음겁전류밀도분포적영향,예측료전주모심후도균균성적변화추세.결과발현:병폐당판능제고전주모심적후도균균성;당병폐당판적방공여음겁등대시,모심적후도균균성최가,모심변연여중심적후도비유불사용병폐당판시적2.03축감지1.15.근거방진우화결과설치대조실험.사용후도측량의검측양품각점적후도,채용영상측량의관찰미투경진렬모심표면형모급절면후도적분포정황.실험결과여방진결과필배,우화후적모심변연여중심적후도비위1.42,형모여모판적기본일치.
