CAJ | 학술논문

在利用正交偏振光外差干涉相位法测量数控机床滚转角误差的过程中,发现反射元件直角棱镜造成的相位损失对系统分辨率产生了不可忽略的影响,通过琼斯矩阵运算,量化了该相位损失对实验结果的影响,并进行了实验验证;同时,针对相位损失问题,提出了基于高反膜相长干涉原理的解决方法.结果表明:直角棱镜引入的相位损失使测量系统在灵敏区的放大倍数降低了40.7％,而基于平面反射镜的解决方案基本消除了相位损失对测量系统分辨率的影响;滚转角误差引起的相位变化幅度由原来的55.8°上升到使用平面反射镜时的349.2°,与参考实验数据358.5°的变化幅度十分接近,从而证明了应用高反膜相长干涉原理解决相位损失问题的可行性.该原理和方法同时为解决全反射导致的光学相位变化问题提供了理论依据和解决思路.
재이용정교편진광외차간섭상위법측량수공궤상곤전각오차적과정중,발현반사원건직각릉경조성적상위손실대계통분변솔산생료불가홀략적영향,통과경사구진운산,양화료해상위손실대실험결과적영향,병진행료실험험증;동시,침대상위손실문제,제출료기우고반막상장간섭원리적해결방법.결과표명:직각릉경인입적상위손실사측량계통재령민구적방대배수강저료40.7％,이기우평면반사경적해결방안기본소제료상위손실대측량계통분변솔적영향;곤전각오차인기적상위변화폭도유원래적55.8°상승도사용평면반사경시적349.2°,여삼고실험수거358.5°적변화폭도십분접근,종이증명료응용고반막상장간섭원리해결상위손실문제적가행성.해원리화방법동시위해결전반사도치적광학상위변화문제제공료이론의거화해결사로.