信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2014年
4期
42-45
,共4页
热处理%FTO薄膜%结构%光学性质%电学性质
熱處理%FTO薄膜%結構%光學性質%電學性質
열처리%FTO박막%결구%광학성질%전학성질
系统研究了在02氛围中不同的热处理温度对FTO薄膜结构、形貌和光电性质的影响.结果表明,当退火温度较低时,样品的结晶度、可见光透过率和导电性均随退火温度的升高而升高;随着退火温度的进一步升高,样品的光电特性开始变差.当退火温度为300 ℃时,得到了具有最低电阻率和最高可见光透过率的样品,其室温电阻率为2.97×10-4Ωcm,可见光透过率达83％.
繫統研究瞭在02氛圍中不同的熱處理溫度對FTO薄膜結構、形貌和光電性質的影響.結果錶明,噹退火溫度較低時,樣品的結晶度、可見光透過率和導電性均隨退火溫度的升高而升高;隨著退火溫度的進一步升高,樣品的光電特性開始變差.噹退火溫度為300 ℃時,得到瞭具有最低電阻率和最高可見光透過率的樣品,其室溫電阻率為2.97×10-4Ωcm,可見光透過率達83％.
계통연구료재02분위중불동적열처리온도대FTO박막결구、형모화광전성질적영향.결과표명,당퇴화온도교저시,양품적결정도、가견광투과솔화도전성균수퇴화온도적승고이승고;수착퇴화온도적진일보승고,양품적광전특성개시변차.당퇴화온도위300 ℃시,득도료구유최저전조솔화최고가견광투과솔적양품,기실온전조솔위2.97×10-4Ωcm,가견광투과솔체83％.
