光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
5期
1347-1353
,共7页
在线检测%相位测量轮廓术%满周期等相移算法%像素匹配%最小二乘法迭代
在線檢測%相位測量輪廓術%滿週期等相移算法%像素匹配%最小二乘法迭代
재선검측%상위측량륜곽술%만주기등상이산법%상소필배%최소이승법질대
on-line inspection%phase measuring profilometry%synchronous detection%pixel matching%least-square iteration
为了简化采用满周期等相移算法的在线相位测量轮廓术(PMP)在实际测量过程中系统装调环节的繁杂程度,同时避免栅线方向和运动方向不严格平行引入附加相移降低解相精度,提出了基于最小二乘法迭代的在线三维检测方法.在测量过程中,任意栅线方向的正弦光栅被投影于物体表面,采用像素匹配技术获得不同时刻拍摄到的变形条纹图的等效相移条纹图,其相移量由投影系统和物体位移共同决定且为任意值.最后,采用最小二乘法迭代计算相位.实验结果表明:在不断改变投影到参考面上光栅栅线方向的情况下,该系统的测量结果稳定,均方根误差均不高于0.169 9 mm.由于该方法放宽了测量系统空间位置的约束条件,提高了测量的灵活程度,使在线PMP更具普适性.
為瞭簡化採用滿週期等相移算法的在線相位測量輪廓術(PMP)在實際測量過程中繫統裝調環節的繁雜程度,同時避免柵線方嚮和運動方嚮不嚴格平行引入附加相移降低解相精度,提齣瞭基于最小二乘法迭代的在線三維檢測方法.在測量過程中,任意柵線方嚮的正絃光柵被投影于物體錶麵,採用像素匹配技術穫得不同時刻拍攝到的變形條紋圖的等效相移條紋圖,其相移量由投影繫統和物體位移共同決定且為任意值.最後,採用最小二乘法迭代計算相位.實驗結果錶明:在不斷改變投影到參攷麵上光柵柵線方嚮的情況下,該繫統的測量結果穩定,均方根誤差均不高于0.169 9 mm.由于該方法放寬瞭測量繫統空間位置的約束條件,提高瞭測量的靈活程度,使在線PMP更具普適性.
위료간화채용만주기등상이산법적재선상위측량륜곽술(PMP)재실제측량과정중계통장조배절적번잡정도,동시피면책선방향화운동방향불엄격평행인입부가상이강저해상정도,제출료기우최소이승법질대적재선삼유검측방법.재측량과정중,임의책선방향적정현광책피투영우물체표면,채용상소필배기술획득불동시각박섭도적변형조문도적등효상이조문도,기상이량유투영계통화물체위이공동결정차위임의치.최후,채용최소이승법질대계산상위.실험결과표명:재불단개변투영도삼고면상광책책선방향적정황하,해계통적측량결과은정,균방근오차균불고우0.169 9 mm.유우해방법방관료측량계통공간위치적약속조건,제고료측량적령활정도,사재선PMP경구보괄성.
