光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
5期
1296-1303
,共8页
程光明%李新辉%张海滨%曾平%温建明
程光明%李新輝%張海濱%曾平%溫建明
정광명%리신휘%장해빈%증평%온건명
压电双晶片振子%悬臂式双晶片振子%夹持长度%动态特性
壓電雙晶片振子%懸臂式雙晶片振子%夾持長度%動態特性
압전쌍정편진자%현비식쌍정편진자%협지장도%동태특성
piezoelectric bimorph vibrator%cantilever bimorph vibrator%clamping length%dynamic characteristics
以惯性压电驱动器的关键部件——悬臂式压电双晶片振子为研究对象,探讨了悬臂式压电双晶片振子的夹持长度变化对其动态特性的影响规律.首先,建立了悬臂式压电双晶片振子静态参数方程和动力学模型.然后,应用matlab软件仿真分析了夹持长度变化对悬臂式压电双晶片振子的端部位移幅值和惯性加速度幅值的影响.最后,分别测试了悬臂式压电双晶片振子在不同夹持长度下的端部位移幅值以及惯性加速度幅值.结果显示:驱动电压为10 V,频率为11 Hz,悬臂式压电双晶片振子的夹持长度在9～20 mm内变化时,其端部位移幅值最大为66.2 μm,产生的惯性加速度幅值最大为10.2 ms-2.仿真和试验结果表明:激励电场相同时,随着悬臂式压电双晶片振子的夹持长度增大,其端部位移幅值会变小,而其产生的惯性加速度会变大.
以慣性壓電驅動器的關鍵部件——懸臂式壓電雙晶片振子為研究對象,探討瞭懸臂式壓電雙晶片振子的夾持長度變化對其動態特性的影響規律.首先,建立瞭懸臂式壓電雙晶片振子靜態參數方程和動力學模型.然後,應用matlab軟件倣真分析瞭夾持長度變化對懸臂式壓電雙晶片振子的耑部位移幅值和慣性加速度幅值的影響.最後,分彆測試瞭懸臂式壓電雙晶片振子在不同夾持長度下的耑部位移幅值以及慣性加速度幅值.結果顯示:驅動電壓為10 V,頻率為11 Hz,懸臂式壓電雙晶片振子的夾持長度在9～20 mm內變化時,其耑部位移幅值最大為66.2 μm,產生的慣性加速度幅值最大為10.2 ms-2.倣真和試驗結果錶明:激勵電場相同時,隨著懸臂式壓電雙晶片振子的夾持長度增大,其耑部位移幅值會變小,而其產生的慣性加速度會變大.
이관성압전구동기적관건부건——현비식압전쌍정편진자위연구대상,탐토료현비식압전쌍정편진자적협지장도변화대기동태특성적영향규률.수선,건립료현비식압전쌍정편진자정태삼수방정화동역학모형.연후,응용matlab연건방진분석료협지장도변화대현비식압전쌍정편진자적단부위이폭치화관성가속도폭치적영향.최후,분별측시료현비식압전쌍정편진자재불동협지장도하적단부위이폭치이급관성가속도폭치.결과현시:구동전압위10 V,빈솔위11 Hz,현비식압전쌍정편진자적협지장도재9～20 mm내변화시,기단부위이폭치최대위66.2 μm,산생적관성가속도폭치최대위10.2 ms-2.방진화시험결과표명:격려전장상동시,수착현비식압전쌍정편진자적협지장도증대,기단부위이폭치회변소,이기산생적관성가속도회변대.
