CAJ | 학술논문

研究非球面光学元件确定性抛光中表面残余误差的评价方法.对两种非球面残余误差的评价方法,分别为轴向误差法和法向误差法,进行理论研究.指出非球面的残余误差理论上应使用法向误差法来评价,并提出一种基于轴向残余误差求解法向残余误差的方法,继而对二者进行比较发现两者存在一定的偏差,并且差值从非球面的中心向边缘方向逐渐增大.以气囊抛光和数控小磨头抛光为例,通过试验表明使用轴向误差法评价残余误差,进行确定性抛光引入了不同程度的加工误差,引入的加工误差的大小与非球面光学元件的口径和顶点曲率半径的比值(即“相对孔径”)成正相关,故对于相对孔径较小的非球面光学元件在确定性抛光中可使用轴向误差法替代法向误差法作为残余误差的评价方法,反之,则应使用法向误差法.
연구비구면광학원건학정성포광중표면잔여오차적평개방법.대량충비구면잔여오차적평개방법,분별위축향오차법화법향오차법,진행이론연구.지출비구면적잔여오차이론상응사용법향오차법래평개,병제출일충기우축향잔여오차구해법향잔여오차적방법,계이대이자진행비교발현량자존재일정적편차,병차차치종비구면적중심향변연방향축점증대.이기낭포광화수공소마두포광위례,통과시험표명사용축향오차법평개잔여오차,진행학정성포광인입료불동정도적가공오차,인입적가공오차적대소여비구면광학원건적구경화정점곡솔반경적비치(즉“상대공경”)성정상관,고대우상대공경교소적비구면광학원건재학정성포광중가사용축향오차법체대법향오차법작위잔여오차적평개방법,반지,칙응사용법향오차법.