机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2014年
5期
73-74,78
,共3页
吴定柱%蒋家东%易忠全%胡军
吳定柱%蔣傢東%易忠全%鬍軍
오정주%장가동%역충전%호군
四极质量分析器%手工修配%比较测量
四極質量分析器%手工脩配%比較測量
사겁질량분석기%수공수배%비교측량
Quadrupole Mass Filter%Manual Lapping%Comparative Measure
四极杆质谱计是目前最成熟、应用最广泛的小型质谱计之一.四极杆质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,使离子在四极场中受到强聚焦作用而向分析器的中心轴聚焦.四极质量分析器零件主要精度误差都要求小于0.002mm,且组件平行度、位置度误差要求均小于0.004mm,传统装配方法已经很难满足精度要求.提出了一种基于手工修研的装配方法,利用该方法装配了一套150型四极质量分析器,最高装配内切圆精度误差小于0.0015mm.
四極桿質譜計是目前最成熟、應用最廣汎的小型質譜計之一.四極桿質量分析器是四極式質譜儀的覈心部件,使離子在四極場中受到彊聚焦作用而嚮分析器的中心軸聚焦.四極質量分析器零件主要精度誤差都要求小于0.002mm,且組件平行度、位置度誤差要求均小于0.004mm,傳統裝配方法已經很難滿足精度要求.提齣瞭一種基于手工脩研的裝配方法,利用該方法裝配瞭一套150型四極質量分析器,最高裝配內切圓精度誤差小于0.0015mm.
사겁간질보계시목전최성숙、응용최엄범적소형질보계지일.사겁간질량분석기시사겁식질보의적핵심부건,사리자재사겁장중수도강취초작용이향분석기적중심축취초.사겁질량분석기령건주요정도오차도요구소우0.002mm,차조건평행도、위치도오차요구균소우0.004mm,전통장배방법이경흔난만족정도요구.제출료일충기우수공수연적장배방법,이용해방법장배료일투150형사겁질량분석기,최고장배내절원정도오차소우0.0015mm.
