兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2014年
4期
501-508
,共8页
张东旭%杨平%杨峰%王詹帅%谢银辉%郭隐彪
張東旭%楊平%楊峰%王詹帥%謝銀輝%郭隱彪
장동욱%양평%양봉%왕첨수%사은휘%곽은표
仪器仪表技术%精密检测平台%多体系统理论%空间误差%模型%测量方法%补偿
儀器儀錶技術%精密檢測平檯%多體繫統理論%空間誤差%模型%測量方法%補償
의기의표기술%정밀검측평태%다체계통이론%공간오차%모형%측량방법%보상
apparatus and intruments technology%precision measuring platform%multi-system theory%volumetric error%model%measuring method%compensation
针对大口径光学元件精密检测平台的工作特点及影响其空间误差的各项几何误差因素,运用多体系统理论,用低序体阵列描述多体系统拓扑结构,建立一种空间误差数学模型.综合应用激光干涉仪、球杆仪和激光位移传感器等仪器设备,提出大口径光学元件精密检测平台各项几何误差和空间误差的测量方法,并对模型中所涉及的各项几何误差进行了系统分析和全面测量,对空间误差进行补偿.误差补偿实验证明所提模型正确有效,将空间误差从补偿前-70.01 ～ 22.14 μm降低到补偿后-4.22 ～5.8 μm,大大提高了精密检测平台的测量精度.
針對大口徑光學元件精密檢測平檯的工作特點及影響其空間誤差的各項幾何誤差因素,運用多體繫統理論,用低序體陣列描述多體繫統拓撲結構,建立一種空間誤差數學模型.綜閤應用激光榦涉儀、毬桿儀和激光位移傳感器等儀器設備,提齣大口徑光學元件精密檢測平檯各項幾何誤差和空間誤差的測量方法,併對模型中所涉及的各項幾何誤差進行瞭繫統分析和全麵測量,對空間誤差進行補償.誤差補償實驗證明所提模型正確有效,將空間誤差從補償前-70.01 ～ 22.14 μm降低到補償後-4.22 ～5.8 μm,大大提高瞭精密檢測平檯的測量精度.
침대대구경광학원건정밀검측평태적공작특점급영향기공간오차적각항궤하오차인소,운용다체계통이론,용저서체진렬묘술다체계통탁복결구,건립일충공간오차수학모형.종합응용격광간섭의、구간의화격광위이전감기등의기설비,제출대구경광학원건정밀검측평태각항궤하오차화공간오차적측량방법,병대모형중소섭급적각항궤하오차진행료계통분석화전면측량,대공간오차진행보상.오차보상실험증명소제모형정학유효,장공간오차종보상전-70.01 ～ 22.14 μm강저도보상후-4.22 ～5.8 μm,대대제고료정밀검측평태적측량정도.
