江苏陶瓷
江囌陶瓷
강소도자
JIANGSU CERAMICS
2014年
2期
9-11
,共3页
魏颖娜%魏恒勇%于云%卜景龙%崔燚%米乐%董功越
魏穎娜%魏恆勇%于雲%蔔景龍%崔燚%米樂%董功越
위영나%위항용%우운%복경룡%최일%미악%동공월
非水解溶胶-凝胶%碳热还原氮化%TiN%薄膜
非水解溶膠-凝膠%碳熱還原氮化%TiN%薄膜
비수해용효-응효%탄열환원담화%TiN%박막
以四氯化钛和无水乙醇为前驱体原料,按C/Ti摩尔比为12:1引入聚乙烯吡咯烷酮(PVP,分子量为1300000)作为碳源,采用非水解溶胶-凝胶碳热还原氮化技术,在流量为30ml/min高纯N2中,经1300℃碳热还原氮化5h,在石英基片上制备出具有金黄色光泽的TiN薄膜.利用XRD、RAMAN和FE-SEM表征TiN薄膜物相组成及显微结构,结果表明:薄膜为具有NaCl型面心立方结构的δ-TiN晶相,薄膜中TiN晶体在其最小应变能晶面(111)择优生长,部分晶粒呈棱角分明的三棱椎状,晶界清晰,薄膜厚度在200nm左右.镀有TiN薄膜的石英基片,在可见光范围内透过率峰值为13％,在近红外区域的反射率接近70％.
以四氯化鈦和無水乙醇為前驅體原料,按C/Ti摩爾比為12:1引入聚乙烯吡咯烷酮(PVP,分子量為1300000)作為碳源,採用非水解溶膠-凝膠碳熱還原氮化技術,在流量為30ml/min高純N2中,經1300℃碳熱還原氮化5h,在石英基片上製備齣具有金黃色光澤的TiN薄膜.利用XRD、RAMAN和FE-SEM錶徵TiN薄膜物相組成及顯微結構,結果錶明:薄膜為具有NaCl型麵心立方結構的δ-TiN晶相,薄膜中TiN晶體在其最小應變能晶麵(111)擇優生長,部分晶粒呈稜角分明的三稜椎狀,晶界清晰,薄膜厚度在200nm左右.鍍有TiN薄膜的石英基片,在可見光範圍內透過率峰值為13％,在近紅外區域的反射率接近70％.
이사록화태화무수을순위전구체원료,안C/Ti마이비위12:1인입취을희필각완동(PVP,분자량위1300000)작위탄원,채용비수해용효-응효탄열환원담화기술,재류량위30ml/min고순N2중,경1300℃탄열환원담화5h,재석영기편상제비출구유금황색광택적TiN박막.이용XRD、RAMAN화FE-SEM표정TiN박막물상조성급현미결구,결과표명:박막위구유NaCl형면심립방결구적δ-TiN정상,박막중TiN정체재기최소응변능정면(111)택우생장,부분정립정릉각분명적삼릉추상,정계청석,박막후도재200nm좌우.도유TiN박막적석영기편,재가견광범위내투과솔봉치위13％,재근홍외구역적반사솔접근70％.
